EUV 블랭크마스크·펠리클 양산 준비 완료
[서울=뉴스핌] 이성화 기자 = 블랭크마스크 전문 기업 에스앤에스텍은 경기도 용인 반도체 클러스터에 위치한 ' EUV 전용 센터' 준공식을 개최했다고 15일 밝혔다.
'EUV 전용 센터'는 2021년 7월에 착공해 연면적 1만809㎡에 지하 1층~지상 5층 규모로 건설됐으며 에스앤에스텍은 극자외선(Extreme Ultraviolet Lithography, EUV) 사업에 약 1000억원을 투자했다.
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에스앤에스텍 용인 EUV 전용 센터 준공식 모습. [사진=에스앤에스텍] |
에스앤에스텍은 EUV 블랭크마스크와 펠리클의 안정적 생산과 고객 맞춤형 공급을 확대하고 연구개발(R&D)과 양산을 유기적으로 연계해 기술 내재화와 글로벌 경쟁력 강화에 나설 계획이다.
특히 이번 용인 거점 확보는 고객사와의 거리를 단축해 공급 안정성과 협력 효율성을 높이고 신규 고객 창출에도 기여할 것으로 보인다. 에스앤에스텍은 이미 대구공장에 있던 EUV용 블랭크마스크와 펠리클 양산시설을 이전 설치해 가동하고 있다.
이번에 EUV 전용 생산 인프라까지 완성되면서 그동안 일본 업체에서 독점해 왔던 EUV 제품의 국산화로 수입 대체 효과도 기대된다. 현재 EUV용 블랭크마스크와 펠리클은 전량 수입에 의존하고 있다.
에스앤에스텍은 본격적인 공급을 시작하면 확보된 기술력을 기반으로 EUV 라인의 추가 증설과 첨단 양산설비 구축을 단계적으로 추진해 안정적인 공급 역량을 지속해서 확대할 계획이다.
정수홍 에스앤에스텍 대표는 "용인 EUV 센터는 국가 반도체 경쟁력 확보와 지역사회 기여를 동시에 실현하는 상징적 공간"이라며 "앞으로도 책임 있는 투자와 혁신을 통해 미래 성장을 선도하겠다"고 말했다.
shl22@newspim.com