전체기사 최신뉴스 GAM 라씨로
KYD 디데이
산업 중기·벤처

속보

더보기

[뉴스핌 라씨로] 넥스틴, HBM 검사 장비 이달 '퀄 테스트' 개시

기사입력 : 2024년07월05일 13:31

최종수정 : 2024년07월05일 13:31

레스큐와 아이리스II, 퀄 테스트 3분기 내 완료 예정
광학 패턴 검사장비 시장 영역 확대…내년 브라이트필드 시장 진출

이 기사는 7월 5일 오전 09시20분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비업체 '넥스틴'이 신규 장비인 고대역폭메모리(HBM) 장비 '크로키'와 극자외선(EUV) 정전기 제거 장비 '레스큐(ResQ)', 3차원 낸드 검사 장비 '아이리스II(IRIS-II)' 상용화를 추진중이다.

넥스틴 관계자는 5일 "크로키 장비는 7월 중 퀄 테스트(품질 테스트) 검증이 시작될 예정이다"며 "현재 퀄 테스트가 진행 중인 레스큐와 아이리스는 세계 최초로 개발된 장비로, 비교 대상 군이 없다보니 테스트 기간이 길어진 경향이 있다. 크로키 장비는 빠르게 진행 될 것으로 보고 있다"고 말했다.

이어 "레스큐와 아이리스II는 진행 상황에 변동이 있을 수 있지만, 3분기 내로 퀄 테스트가 완료될 것으로 보고 있다"며 "퀄 테스트가 끝나는 시점에 PO(구매 주문서)가 이어질 것을 기대한다"고 덧붙였다.

넥스틴이 개발 완료한 '크로키'는 HBM의 불량 여부를 검사하는 장비다. HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층한 메모리로, 막대한 양의 웨이퍼 투입이 필요한데 제조 과정에서 웨이퍼가 틀어질 가능성이 있다. 이 경우, 타 장비는 칩이 수평으로 놓였다는 가정 하에 검사를 진행해 결함을 평가하기 어려웠다. 넥스틴이 개발한 '크로키'는 2D 검사를 통해 웨이퍼가 틀어진 상태에서도 검사가 가능하다는 특징이 있다.

또한 '레스큐'는 웨이퍼상의 미세 정전기를 제거하는 장비로, 웨이퍼 표면 정전기만 제거 가능한 타 제품들과 달리 세계 최초로 웨이퍼 안쪽 정전기까지 제거 가능한다. '아이리스II'는 적층 구조의 3차원 낸드 하단부까지 검사할 수 있는 장비로 파장이 하단부까지 도달하지 못하는 기존 장비의 한계를 극복했다.

넥스틴 로고. [로고=넥스틴]

넥스틴은 그동안 주력 제품인 '이지스(AEGIS)' 시리즈로 장비 시장에서 입지를 다져왔다. 올해부터는 장비 다각화를 본격화하면서 시장 영역을 더욱 강화할 예정이다. 넥스틴의 주력 장비 '이지스'시리즈는 2년마다 성능을 개선을 통해 현재 '이지스Ⅲ' 장비까지 상용화되고 있다. 넥스틴 관계자는 "(업그레이든 버전) 이지스Ⅳ는 내년 상반기를 목표로 준비하고 있다"고 전했다.

2010년 설립된 넥스틴은 국내 유일의 전(前)공정 패턴 결함 검사장비 제조사로 '이지스' 시리즈를 통해 다크필드(dark-field·암조명) 검사 장비를 주력하고 있다. 그동안 다크필드 검사장비 시장은 미국 기업 'KLA-텐코'가 장악해왔으며, 넥스틴은 자체 기술력을 통해 KLA에 당당히 도전장을 내밀며 기술 격차를 점차 좁혀가고 있다. 또한 넥스틴은 내년부터 브라이트필드(Bright-field·명조명)시장에도 진출해, 다크필드와 브라이트필드 장비를 각각 따로 공급 중인 KLA의 시장 점유율을 점차 확보해 나갈 예정이다.

반도체 광학 패턴 결함 검사 장비는 빛을 조사하는 방식에 따라 다크필드와 브라이트필드로 나뉜다. 다크필드는 자외선(EUV) 광원과 비스듬하게 빛을 보내 산란광을 사용해 결함을 확인하는 방식으로, 30nm 수준의 결함까지 검출 가능하며 속도가 빠르다. 브라이트필드는 극자외선(DUV) 광원과 수직으로 빛을 쏴 반사광을 이용해 결함을 검출하는 장비로 높은 기술력을 요한다. 15nm 수준의 결함까지 검출이 가능해 더욱 면밀한 검사가 가능하며, 다크필드 장비에 비해 가격이 약 2배 정도의 고가 장비다.

넥스틴은 현재까지 다크필드 시장에서만 입지를 다져왔다면, 내년부터는 브라이트필드 시장 진출을 통해 광학 패턴 검사 장비의 영역을 모두 확보해 나갈 계획이다.

넥스틴 관계자는 "브라이트필드 시장 진입을 목표로 장비를 개발 중에 있다. 브라이트필드는 반도체 공정 중에서 가장 중요한 공정에 쓰고 있으며, 관련 기술력을 높이기 위해 연구개발을 하고 있다. 내년 상반기 관련 장비 퀄 테스트 진입을 목표로 하고 있다"고 말했다.

넥스틴 사업 보고서에 따르면, 지난 2020년 10월 넥스틴은 심자외선(DUV) 브라이트필드 시장 진입을 위해 '바이올리스(VIOLIS)' 장비 연구개발을 진행해 왔다. 이 장비는 올해 말까지 연구과제가 진행될 예정으로, 266nm 파장(DUV) 광학기반 1xnm(1세대 10나노미터급 제품) 검출력을 갖는 반도체 패턴 미소결함 검사장비로 설명돼 있다.

nylee54@newspim.com

[뉴스핌 베스트 기사]

사진
김수현 "故김새론, 미성년땐 사귀지 않아" [서울=뉴스핌] 정일구 기자 = 미성년자였던 고(故) 김새론과 교제했다는 의혹을 받는 배우 김수현이 31일 오후 서울 마포구 스탠포드호텔에서 열린 긴급 기자회견에서 입장 밝히며 눈물을 흘리고 있다. 2025.03.31 mironj19@newspim.com   2025-03-31 17:43
사진
김효주 "아직도 할 수 있는 선수 증명" [서울=뉴스핌] 김용석 기자 = "LPGA에서 17개월 만에 우승을 차지해 기쁘다." 김효주(30)가 미국여자프로골프(LPGA) 투어에서 통산 7번째 우승 트로피를 들어 올렸다. 김효주는 31일(한국시간) 미국 애리조나주 챈들러의 월윈드골프클럽에서 열린 포드 챔피언십 최종일, 연장전 끝에 릴리아 부를 꺾고 우승을 차지했다. [서울=뉴스핌] 김용석 기자 = LPGA 통산 7승을 수확한 김효주. [사진= LPGA] 2025.03.31 fineview@newspim.com 역전 우승이다. 3라운드까지 릴리아 부에게 4타 뒤진 공동5위로 출발한 김효주는 대회 마지막 날인 4라운드에서 버디 9개, 보기 1개로 무려 8타를 줄였다. 릴리아 부와 나란히 최종합계 22언더파 266타로 동타를 이룬 김효주는 연장전이 벌어진 18번 홀(파4)에서 1.5m 거리의 버디 퍼트를 성공시켜 승리를 확정지었다. LPGA 통산7승이다. 2015년과 2016년 각각 1승씩을 올린 그는 2021년 HSBC 위민스 월드 챔피언십, 2022년 롯데 챔피언십, 2023년 볼룬티어스 오브 아메리카스 클래식 등에서 6승을 수확한 뒤 1년5개월만에 다시 정상에 올랐다. 김효주는 매니지먼트사 지애드스포츠를 통해 "오늘 마지막까지 집중한 것이 중요했다"고 밝혔다. "작년 겨울 전지훈련에서 열심히 훈련하며 몸 상태를 끌어올리기 위해 노력했기 때문에 이번 대회에서도 좋은 샷감을 기대할 수 있었다"고 말했다. 파이널 라운드에서도 집중을 잃지 않기 위해 노력했다는 그는, "그 결과 좋은 성과로 이어져서 정말 감사한 마음"이라고 기쁨을 전했다. 이번 대회에서는 새로운 샤프트와 퍼터를 사용한 것이 주효했다는 김효주는 "좋은 샷감과 함께 시너지 효과가 난 덕분에 우승까지 할 수 있었다"고 말했다. 특히 LPGA에서 17개월 만에 우승을 차지한 그는 "아직도 내가 할 수 있는 선수라는 것을 증명해 너무 뿌듯하다"며 언제나 응원해주시는 팬들에게 진심으로 감사의 인사를 전했다. 이번 우승은 김아림에 이어 한국 선수로는 올해 두 번째 LPGA 투어 우승이다. 김효주는 "올 시즌, 한국 선수들의 상승 흐름에 좋은 기폭제가 되었으면 한다"고 덧붙였다. fineview@newspim.com 2025-03-31 14:44
안다쇼핑
`
Top으로 이동