이 기사는 6월 28일 오전 10시07분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 '예스티'의 고압 수소 어닐링 장비 품질 평가가 막바지 단계에 진입했다. 예스티가 장비 상용화에 속도를 내고 있는 '고압 수소 어닐링 장비'는 지난해 경쟁사로부터 특허소송이 제기돼, 현재 특허 분쟁도 진행 중이다. 하반기 판결을 앞두고 있는 가운데 해당 시장이 독점에서 이원화 체계로 변할 수 있을지 시장의 관심이 쏠리고 있다.

예스티 관계자는 28일 "고압 수소 어닐링 장비 막바지 평가가 진행되고 있다. 3분기 내 평가가 완료될 것으로 보고 있다"며 "평가 완료 후, 본격적인 수주 및 양산은 내년으로 예상한다"고 말했다.

고압 수소 어닐링 장비는 반도체 산화 공정에서 발생하는 웨이퍼 실리콘(Si) 표면 결함을 중수소 또는 수소로 치환해 표면의 특성과 수율을 향상시키는 장비다. 기존 고압 어닐링 장비는 1회에 최대 75매까지 반도체 웨이퍼 처리가 가능한데, 예스티는 자체 고온· 고압 기술을 활용해 동시에 125매의 웨이퍼를 처리할 수 있다. 반도체 웨이퍼의 생산성을 약 60% 향상시키는 특징을 지녔다.

지난 2021년부터 개발해온 예스티의 '고압 수소 어닐링' 장비는 2022년 12월 개발 완료 후, 글로벌 반도체 기업 고객사들과 데모 및 양산 테스트를 진행해오며 상용화에 속도를 내고 있다. 다만 관련 특허기술을 보유한 반도체 장비 기업 'HPSP'로부터 기술 침해를 이유로 특허소송이 제기 돼, 현재 특허 분쟁이 진행 중이다.

그동안 고압 어닐링 장비는 HPSP가 독점해왔다. 지난해 9월, HPSP가 해당 제품에 대한 자사의 특허를 침해했다며 소송을 진행했고, 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다. 예스티는 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.

예스티가 신청한 '무효심판'과 '소극심판' 구술 심리는 오는 7월에 열린다. 이번 판결로 인해 독점적 지위를 유지하고 있는 고압 어닐링 장비 시장의 향후 방향이 달렸다는 점에서 주목받고 있다. 예스티가 승소하면 사실상 독점 체제가 깨지면서 관련 시장이 이원화 구도로 진입하게 된다.

예스티 관계자는 "구술 심리 모두 7월에 일정이 잡혀 있기에 이후에 판결이 나올 것으로 본다. 경쟁사와 회사 모두가 주관적인 입장이기에 각자 좋은 방향으로 보고 있을 것이다"고 밝혔다.

2000년 설립된 예스티는 지난 2015년 코스닥 시장에 상장했다. 칠러, 가압큐어, 퍼니스 등 반도체·디스플레이 장비와 히팅자켓, 클린후드 등 반도체공정 인프라 부품을 생산하고 있다. 예스티는 지난해 고대역폭메모리(HBM) 제조 공장에서 사용되는 핵심장비 3종류(웨이퍼 가압설비·EDS 칠러·EDS 퍼니스) 모두를 생산하는 능력을 보유하면서 품목 다변화에 성공했다. 지난해 반도체 불황에도 생성형 인공지능(AI) 시장 확대에 고성능 메모리로 급부상한 'HBM' 수요가 늘면서 꾸준한 매출 성장세를 이어오고 있다.

실제 예스티는 지난 3일 삼성전자와 60억원 규모의 HBM 제조용 가압 장비 공급 계약을 체결하는 등 지난해 10월부터 지금까지 예스티가 수주한 HBM 장비의 누적 금액은 약 382억원을 기록했다. 반도체 장비로는 창사 이래 최대 수주 실적이다.

또한 예스티는 HBM 장비뿐 아니라 반도체·디스플레이 습도제어 장비 '네오콘(NEOCON)'의 성장도 기대한다. 네오콘은 효율적인 습도 제어로 고객사 수율을 개선 시켰고, 모듈식 탈부착을 통해 생산성 향상을 높였다. 합리적인 가격 등을 통해 가격 경쟁력도 갖춘 장비로, 지난해 양산을 본격화하면서 올해 1분기부터 매출이 반영됐다. 네오콘은 공동 개발 프로그램(JPD) 장비로 올해까지는 고객사에 제약이 있는 상태지만, 내년에는 다양한 고객사 확보 등을 통해 관련 수요의 증가가 전망된다. 

예스티 관계자는 "HBM 장비는 현재 제일 잘 수행되고 있는 장비이다. 네오콘은 하반기에 만료되는 시점으로 내년부터는 고객 다변화를 진행해 볼 수 있다"며 "국내를 우선 공략해 나갈 예정이다. 디바이스 업체뿐만 아니라 장비사 등 고객사의 폭을 넓게 보고 있다"고 전했다.

이어 "(실적 관련해서는) 작년 말에 수주 받은 건이 올해 다 실적으로 반영된다. 1분기에 좋은 성과를 거둔 만큼, 올해는 작년에 비해 큰 폭의 성장을 예상하고 있다. 흑자전환은 당연히 이뤄낼 전망이다"고 말했다.

예스티는 지난해 별도기준 매출액 643억원, 영업이익 21억원을 달성했다. 연결기준에서는 매출액 798억원, 영업손실 4억원으로 적자를 기록했다.

예스티의 올해 1분기 별도기준 실적은 매출액 175억원, 영업이익 25억원으로, 지난해 전년도 영업이익을 한 분기에 초과 달성했다. 

nylee54@newspim.com