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[서울=뉴스핌] 정경환 기자 = 디아이티가 SK하이닉스 '레이저 어닐링(Laser Annealing)' 장비 공급을 확정지었다. 코로나19 사태 등으로 인한 최근 실적 부진을 만회할 새로운 모멘텀이 될지 주목된다.

14일 관련업계에 따르면, 디아이티는 SK하이닉스가 새로 도입하는 레이저 어닐링 공정에 필요한 장비 공급 계약을 앞두고 있다.

SK하이닉스 관계자는 "차세대 D램 공정에 레이저 어닐링 공정을 도입하는 것은 기정사실"이라며 "디아이티와 공급 계약을 앞두고 있다"고 말했다.

디아이티와는 레이저 어닐링과 관련해 오랜 기간 협업해 왔고, 이제 제품 개발 및 테스트 등을 끝내고 본격적으로 장비 도입을 시작할 것이란 설명이다.

SK하이닉스 관계자는 "다만, 도입 시기나 적용 제품 등은 아직 밝힐 수 없다"면서 "D램뿐만 아니라 우리 제품이 다양하다. D램만 해도 원엑스, 원와이 등 여러가지다"라고 덧붙였다.

[로고=디아이티]

'어닐링'은 열처리 공정으로, '레이저 어닐링'은 이온 주입 등으로 반도체 표면에 생긴 결정 결함부를 레이저 에너지에 의한 열처리를 통해 재결정시켜 수복하는 것을 말한다. 이 같은 고온 공정이 최근 반도체 공정에서 중요한 이슈로 부각되고 있는데, 수백 도(℃)에서 1000℃ 이상까지 올라가는 고온으로 인해 다른 공정에도 영향을 미칠 수 있기 때문이다. 레이저 어닐링은 원하는 영역에 레이저를 이용해 어닐링을 진행, 다른 공정에 미치는 영향이 적다.

SK하이닉스 레이저 어닐링 장비 공급 건에 대해 디아이티 관계자는 "우리 쪽에서 말할 수 있는 것은 없다"고 언급했다.

한편, 디아이티는 지난해 코로나19 사태로 인해 실적에 적잖이 타격을 입었다. 연결 기준 매출이 286억 원으로 전년 대비 76% 줄었고, 19억 원의 영업손실을 기록하며 적자 전환했다. 코로나19 팬데믹 상황에서 해외 고객사 최종 검수 과정이 지연된 영향이 컸다.

디아이티 관계자는 "현재 수주 잔고가 1970억 남아 있는데, 그 중 80% 정도가 해외 매출"이라며 "코로나19 사태로 작년 2월부터 항공권 사용이 어려운 상황이다. 고객사의 최종 검수를 거쳐야 매출로 인식되는데, 그 작업이 지연되면서 매출이 올해로 넘어오게 됐다"고 언급했다.

이어 "고객사들이 전세기를 보내오면 전세기 타고 들어가서 대응하고 있다"면서 "이런 식으로 (최종 검수 과정이) 좀 더 활발하게 진행이 되면 이른 시간 안에 (매출 인식 지연 문제가) 해소될 것으로 보고 있다"고 덧붙였다.

hoan@newspim.com