[고영화의 중국 반도체] <7> 中 반도체소재, 웨이퍼 등 국산화 탄력<下>

기사입력 : 2022년12월09일 13:16

최종수정 : 2022년12월09일 14:11

◆ 화터기체, 진홍기체, 남대광전 등 다수 상장사 전자기체 국산화에 참여

반도체 제조 공정에서는 5N(5개 'Nine' 즉 99.999% 순도) 이상 초순도의 다양한 특수기체가 사용된다.

SAI 자료에 따르면, 2020년 세계 반도체 공업기체 시장은 독일 린더(Linde) 20.2%, 프랑스 에어리퀴드(Air Liquide) 15.5%, 미국 에어프로덕츠(Air Products) 6.6%, 일본 TNSC 5.5% 등 4대 다국적기업이 47.7%를 과점하고 있다.

2020년 중국 전자기체 시장은 85%를 위에서 언급한 4대 다국적기업이 차지하고 있으며, 중국기업은 화터기체(Huate) 1.9%, 진홍기체(Jinhong) 1.6%, 남대광전(Nata) 1.5%, 야커과기(Yoke) 1.3% 등이 있다.

화터기체(华特气体, Huate Gas, 688268.SH, 포산)는 1999년 설립되었고, 고순도 헥사플루오로에탄(C2F6), 고순도 사불화탄소(CF4), 고순도 일산화탄소(CO2), 건식 포토레지스트 가스 등 230여종의 특수 가스 및 일반 가스 10여종을 생산한다. SMIC, 창장메모리(YMTC), TSMC(중국), Intel(중국), SK Hynix(중국) 등을 포함하여, 중국 8인치 및 12인치 반도체 제조기업 80% 이상을 고객으로 확보했다. 올해 상반기 매출은 8.84억위안(전년대비 +36.5% 증가)이며, 특수기체 비중은 59.1%이다.

진홍기체(金宏气体, Jinhong Gas, 688106.SH, 쑤저우)는 1999년 설립 이후, 특수가스, 일반가스, 천연가스 등 100여 종의 기체를 생산한다. 특히 초순수 암모니아(NH3) 가스의 중국시장 점유율은 50%를 넘는다. 화룬마이크로(华润微电子), 렌신반도체(联芯集成), 삼성전자, 삼안광전(三安光电) 등이 주요고객이다. 올해 상반기 매출은 9.30억위안(전년대비 +19.4% 증가)이며, 특수기체 비중은 37.8%이다.

남대광전(南大光电, Nata, 300346.SZ, 쑤저우)은 2000년 설립되었고, 삼불화질소(NF3), 육불화황(SF6) 등 불소 함유 가스와 인산(H3O4P), 비소산(As2O5〮nH2O) 등 수소계 가스를 주로 생산한다. 주요고객은 오스람(Osram), 엘지(LG), 삼안광전(三安光电), 스란마이크로(士兰微电子) 등이다. 올해 상반기 매출은 8.47억위안(전년대비 +91.3% 증가)이며, 특수기체 비중은 79.0%이다.

야커과기(雅克科技, Yoke Technology, 002409.SZ, 우시)는 1997년 설립 이후 일반 방염제를 생산하여, 2010년 선전거래소에 상장된 이후 2013년 LNG 보온복합소재 사업에 진출하였다. 2016년에는 반도체 후공정 실리카 필러 전문기업 화페이전자(华飞电子基材), ALD/CVD 소재 전문기업 한국 유피케미칼(UP Chemical) 및 특수기체 전문기업 청두시 커메이터특종기체(科美特特种气体) 등 3사를 인수하면서 반도체 소재 기업으로 변신했다. 또한 2017년 한국 포이스(Foures)와 중국 JV를 설립하여 반도체 기체/액체 수송설비 사업에 진출했다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =중국 야커과기(Yoke)의 자회사 유피케미칼(UP Chemical)의 평택 소재 특수가스 공장설계도 [출처= 네이버, 2022.12]. 2022.12.09 chk@newspim.com

야커과기의 자회사 커메이터(科美特)는 불소가스 중 사불화탄소(CF4) 년2000톤, 육불화황(SF6) 년8500톤 등을 생산 중이다. 야커과기의 올해 상반기 매출은 20.6억위안(전년대비 +14.2 증가)이고, 전자기체 비중은 10.7% 이다.

이외에도 하오화과기(昊华科技, HHKJ, 600378.SH, 청두), 카이메이터치(凯美特气, KMT, 002549.SZ, 웨양), 화웬기체(和远气体, Heyuan Gas, 002971.SZ, 장양), 중촨중공(中船重工, CSIC, 국유기업, 비상장, 베이징) 산하 718연구소, 리밍화공연구원(黎明化工研究设计院, LRICI, 국유기업, 비상장, 뤄양) 등도 반도체 특수기체를 생산하고 있다.

◆ 풍부한 광물자원을 기반으로 스퍼터링타겟 국산화 순풍

스퍼터링 타겟은 물리적 증착(PVD)에 사용되는 고순도 금속소재로서, 반도체의 경우 99.9995%(5N5) 이상, LCD 패널 경우 99.999%(5N) 이상, 태양전지 경우 99.995%(4N5) 이상의 순도가 요구된다.

세계반도체무역통계(WSTS) 자료에 따르면, 2020년 세계 스퍼터링타겟 시장은 일본 제이엑스니폰(JX Nippon) 30%, 토소(TOSOH) 20%, 미국 하니웰(Honeywell) 20%, 프렉스에어(Praxair) 10% 등 일본과 미국의 4개 기업이 80%를 독점하고 있다.

요우옌신소재(有研新材, GRIAM, 600206.SH, 베이징)도 요우옌꾸이(Gritek)와 같이 국유기업 요우옌과기그룹(有研科技集团, GRINM)의 자회사이다. 1999년 그룹에서 분리되면서 동시에 상하이거래소에 상장되었다. 스퍼터링타겟 중 8~12인치 반도체 용 알루미늄, 티타늄, 구리, 코발트(Co) 제품은 양산 중이고, 7nm 이하 첨단 제품은 개발 중이다. 앞으로 2025년까지 년 5.3만톤의 스퍼터링타겟 제품을 생산할 수 있도록 공장을 확장 중이다. 올해 상반기 매출은 74.1억위안(전년대비 -2.9% 감소)이고, 스퍼터링타겟 제품 비중은 67.6%이다.

장펑전자(江丰电子, KFMI, 300666.SZ, 닝보) 는 2005년 설립되었고, '2017년 중국반도체소재10대기업'으로 선정되기도 했다. 스퍼터링타겟 중 12인치 반도체용 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 탄탈럼(Ta), 구리(Cu) 제품은 양산하고 있으며, 90-7nm 공정에 이미 납품했고, 5nm 공정의 일부 납품하고 있다. 2020년, 알루미늄 제품 13.2만개, 티타늄 6.1만개, 탄탈럼 3.2만개를 생산했고, 구리제품은 년1.8만개 생산시설을 건설 중이다. 올해 상반기 매출은 10.86억위안(전년대비 +50.2% 증가)이고, 스퍼터링타겟 제품 비중은 60.7%이다.

아스촹(阿石创, Acetron, 300706.SZ, 푸저우)은 2002년 설립되었고, 2020년 스퍼터링타겟 제품 총 590톤을 양산했다. 향후 몰리브덴(Mo) 년800톤, 알루미늄 년350톤, 실리콘(Si) 년50톤, 구리 년2000톤 등을 증산할 계획이다. 올해 상반기 매출은 3.4억위안(전년대비 +39.4% 증가)이고, 스퍼터링타겟 비중은 56.8%이다.

롱화과기(隆华科技, Longhua, 300263.SZ, 뤄양)는 1995년 설립되었다. 스퍼터링타겟은 2020년에 이미 산화인듐주석(ITO) 제품 년10톤, 몰리브덴 년80톤을 생산했고, 향후 산화인듐주석 제품을 년140톤을 추가 생산할 계획이다. 올해 상반기 매출은 11.6억위안(전년대비 +21.7% 증가)이고, 스퍼터링타겟 비중은 21.4%를 차지했다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 한중합자 스퍼터링타겟 기업 '즈롱신재료'(智隆新材)의 광동성 중산시 소재 본사 전경
[출처= 바이두, 2022.12]. 2022.12.09 chk@newspim.com

즈롱신재료(智隆新材, 비상장, 중산)는 한국 LT금속과 광저우즈무과기(广州智沐科技)가 6억 위안을 공동투자하여 2019년 4월에 설립한 중한합자 스퍼터링타겟 전문기업이다. 고순도 산화인듐주석(ITO) 제품을 2020년 하반기부터 양산하고, 이어 이그조(IGZO: 인튬(Indium), 갈륨(Gallium), 아연(Zinc), 산소(Oxide)) 제품을 개발 중이다.

이외에도 오라이고신재료(欧莱新料, Omat, 비상장, 샤오관), 잉리과기(映日科技, Yingri, 비상장, 우후) 등이 스퍼터링타겟 소재를 생산하고 있다.

◆ 중국 반도체 소재 산업은 전국 각지에서 '인해전술' 양상

오늘은 베어웨이퍼, 전자기체, 스퍼터링타겟 등의 중국 반도체 소재의 현주소를 살펴보았다. 기술적인 특징 이외에, 중국 반도체 소재산업의 특징을 보면 3가지로 요약할 수 있다.

첫째는 반도체 소재산업에 참여한 기업의 수가 정말 많다는 것이다. 둘째는 일부러 기업명칭 뒤에 기업의 소재지를 기입해 놓았는데, 반도체 소재 기업들이 특정한 지역에 몰려있지 않고 중국 전역에 걸쳐 있다는 것이다. 셋째는 대부분의 기업들이 상장기업이라는 것은 중국 정부가 반도체 소재기업에게 관대하게 상장 기회를 주고 있다는 것이다.

현재 중국의 반도체 소재 국산화율은 높지 않지만 이렇게 많은 기업들이 '인해전술'로 도전하는 것을 보면, 투입 확대에 따른 순조로운 성과 확대도 필연적이라고 본다.

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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스키즈, K팝 첫 美 빌보드 8연속 정상 [서울=뉴스핌] 최문선 기자 =테이프 '두 잇'(SKZ IT TAPE 'DO IT')'으로 미국 빌보드 메인 앨범차트 '빌보드 200'에서 1위를 차지하며, K팝 최초 '빌보드 200' 8연속 1위라는 기록을 세웠다. 30일(현지시간) 공개된 빌보드의 차트 예고 기사에 따르면, 이번 앨범은 12월 6일 자 '빌보드 200'에서 정상을 차지했다. [서울=뉴스핌] 류기찬 기자 = 빌보드 200 8연속 1위를 차지한 그룹 스트레이 키즈. ryuchan0925@newspim.com 이로써 스트레이 키즈는 자체 기록이었던 K팝 최초 7연속 1위를 넘어, 통산 8연속 1위를 달성하게 됐다. 스트레이 키즈는 2022년 3월 미니 6집 '오디너리'를 시작으로 미니 7집 '맥시던트', 정규 3집 '★★★★★(5-STAR)', 미니 8집 '락스타', 미니 9집 '에이트', 스페셜 앨범 '스키즈합 힙테이프 - 합(SKZHOP HIPTAPE - 合 (HOP))', 그리고 지난 8월 발표한 정규 4집 '카르마'까지 연이어 '빌보드 200' 1위를 차지하며 막강한 글로벌 영향력을 입증해왔다. 1956년 3월 시작된 '빌보드 200' 약 70년 역사에서, 첫 1위 진입 이후 여덟 작품을 연달아 정상에 올린 아티스트는 스트레이 키즈가 최초다. moonddo00@newspim.com 2025-12-01 10:53

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국힘 운명 걸린 2일 추경호 영장심사 [서울=뉴스핌] 이재창 정치전문기자 = 국민의힘이 오는 2일 당 진로의 중대한 분수령을 맞는다. 추경호 의원에 대한 법원의 구속 전 피의자 심문(영장실질심사) 결과에 따라 추 의원은 물론 당의 운명이 결정된다. 출구 없는 터널에 갇히느냐, 아니면 희망의 출구를 찾느냐는 영장 발부 여부에 달렸다. 구속영장이 발부되면 국민의힘은 내란 정당 프레임에 갇혀 사실상 생존을 걱정해야 하는 최대 위기를 맞게 된다. 내년 6월 지방선거 승리도 요원해진다. 반대로 영장이 기각되면 내란 정당 프레임에서 벗어나 비상계엄 이후 1년간 계속된 수세 국면에서 탈출할 수 있다. 대대적인 역공이 가능해져 지방선거에서 한판 승부를 겨뤄볼 수 있을 것으로 보인다. [서울=뉴스핌] 최지환 기자 = 장동혁 국민의힘 대표, 송언석 국민의힘 원내대표가 30일 오전 서울 서초구 서울고등검찰청 앞에서 열린 국민의힘 긴급의총에서 의원들과 구호를 외치고 있다. 2025.10.30 choipix16@newspim.com 추 의원의 구속 여부는 비상계엄 1년을 맞는 3일 새벽에 결정될 것으로 예상된다. 추 의원은 내란 중요임무 종사 혐의를 받고 있다. 윤석열 전 대통령의 내란에 협조했는지 여부다. 추 의원의 구속 여부에 중요한 정치적 의미가 부여되는 이유다. 추 의원 구속 여부에 따라 "국민의힘을 위헌 정당 해산으로 몰아가려는 내란몰이 정치공작"(추 의원)인지, 아니면 "의도적으로 (의원 총회) 장소를 변경한 것이 확인되면 내란의 중요 임무에 종사한 내란 공범"(정청래 더불어민주당 대표)인지가 가려지는 것이다. 적어도 정치적으로는 이런 해석이 가능하다. 법리적으로도 위헌 정당 해산에 무게가 실릴 수 있다. 그만큼 정치적 파장은 엄청나다. 구속 여부에 따라 민주당과 국민의힘 중 한 당은 심각한 정치적 타격을 받을 수밖에 없다. 따라서 여야 모두 촉각을 곤두세우고 있다. 이번 추 의원 영장 심사는 2023년 이재명 대통령(당시 민주당 대표) 건을 떠올리게 한다. 이 대통령은 백현동 개발사업 특혜와 쌍방울 대북 송금 의혹 등의 혐의로 체포동의안이 국회를 통과해 구속 심사를 받았다. 여기까지는 동의안이 국회를 통과해 영장 심사를 받는 추 의원과 닮은꼴이다. 당시 이 대통령에 대해 영장이 발부됐다면 이 대통령은 구속됐을 것이고 민주당은 심각한 위기에 빠졌을 것이다. 결과는 정반대였다. 이 대통령은 영장 기각으로 기사회생했고, 민주당도 살길을 찾았다. 추 의원과 국민의힘도 구속 여부에 따라 비슷한 수순을 밟을 것이다. 우선 추 의원에 대한 영장이 발부되면 국민의힘은 내란 정당 프레임에 갇히게 된다. 민주당은 국민의힘에 대해 대대적인 내란 정당 공세를 펼 것이다. 내란 정당 심판론은 민주당의 지방선거 전략이다. 국민의힘은 정당 해산이라는 최악의 위기를 맞을 수도 있다. 민주당은 위헌 정당 해산 심판 청구 카드를 만지작거리고 있다. 추 의원이 구속되면 당시 지도부에 속했던 국민의힘 의원들에 대한 수사가 확대될 가능성이 높다. 수사 대상에 오른 의원은 10여 명으로 알려져 있다. 이 중 일부도 사법 처리될 수 있다는 얘기가 나온다. 당내 갈등도 불거질 수 있다. 이미 비상계엄에 대한 사과와 반성을 놓고 이견이 표출되고 있다. 배현진, 김재섭 의원 등 소장파 의원은 당 지도부에 사과 메시지를 요구하고 이것이 받아들여지지 않으면 집단 행동에 나서겠다는 입장이다. 여기에는 20여 명 안팎이 참여할 것으로 전해졌다. 배 의원은 지난 29일 페이스북에 "진정 끊어야 할 윤석열 시대와는 절연하지 못하고 윤어게인, 신천지 비위를 맞추는 정당이 돼서는 절대로 절대로 내년 지방선거에서 유권자의 눈길조차 얻을 수 없다"며 "윤석열 시대와 절연해야 한다"고 말했다. 이런 와중에 당원 게시판(당게) 논란도 가열되고 있다. 당 지도부가 한동훈 전 대표를 겨냥한 당 게시판 논란에 대해 조사에 착수하겠다고 밝힌 데 따른 것이다. 한 전 대표는 "당을 퇴행시키려는 시도"라고 비판했다. 당게 논란과 사과 반성 메시지 불협화음이 맞물리면서 갈등이 심화할 가능성을 배제할 수 없다. 내란 정당 프레임에 갇히고 여기에 당내 갈등까지 겹치면 중도층 공략은 사실상 불가능해진다. 그렇지 않아도 각종 여론 조사에서 전국적으로 상당한 격차로 밀리는 것으로 나타나고 있다. 지방선거에서 참패할 가능성이 높아지는 것이다. 추 의원에 대한 영장이 기각되면 국민의힘은 내란 정당 프레임에서 벗어날 수 있다. 완전히 탈출하는 것은 아니지만 적어도 이 프레임은 동력이 떨어질 가능성이 높다. 민주당은 조희대 대법원장 등 사법부에 대한 공격에 나서겠지만 내란 정당 공세는 약해질 수밖에 없다. 국민의힘이 일단 기사회생할 수 있다. 국민의힘은 여권에 대한 대대적인 역공에 나설 것으로 보인다. 국민의힘은 3대 특검을 앞세운 민주당의 내란몰이가 입증됐다고 여권을 몰아세울 것으로 예상된다. 비상계엄에 대한 사과와 반성은 없던 일이 될 가능성이 높다. 당 지도부가 당내 갈등을 털어버리고 중도 공략에 나설 경우 지방선거 구도를 혼전 구도로 만들 여지도 없지 않다. 추 의원의 구속 여부가 적어도 연말 연초 정국의 향방을 결정하는 최대 변수가 될 것으로 보인다. 정국 주도권은 물론 지방선거 구도까지 좌우할 가능성이 높다. leejc@newspim.com 2025-12-01 06:00