GST, 틀라즈마 토치 특허 취득

기사입력 : 2007년07월03일 12:53

최종수정 : 2007년07월03일 12:53

GST는 "플라즈마 토치로 특허를 취득했다"고 3일 공시했다.

회사 관계자는 이와 관련, "소정 간격 떨어진 양측의 전극에 고압의 전류가 방전되었을때 발생되는 방전 아크의 불꽃방향의 속도증대 및 활성화를 위해 워킹가스가 공급되는 유로를 캐소드 전극과 애노드 전극 사이에 개재되는 절연체에 형성한 플라즈마 토치에 관한 것"이라고 설명했다.

그는 이어 "향후 반도체 제조공정에서 사용되는 폐가스정화처리장치에 적용할 예정"이라고 덧붙였다.

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