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[서울=뉴스핌] 배상희 기자 = 중국 반도체 산업의 국산화 흐름이 장비와 소재를 넘어 생산라인 운영에 필수적인 공정 지원 시스템으로 확대되고 있다.

특히 미국의 대중국 반도체 장비 수출 규제가 지속되면서 중국 반도체 제조사들은 핵심 설비와 부품의 현지 조달 비중을 높이는 데 주력하고 있다.

이러한 변화 속에서 웨이퍼 제조공정에 필요한 초고순도 특수가스·화학약품 공급 시스템과 습식 세정 장비를 함께 공급하는 지순과기(至純科技·PNC 603690.SH)가 주목 받고 있다.

중국 최대 낸드플래시 제조사 양쯔메모리(YMTC·長江存儲)를 비롯한 중국 주요 반도체 기업을 고객사로 확보한 지순과기는 공정 시스템 통합을 기반으로 장비와 전자재료까지 사업 영역을 넓히며 중국 반도체 공급망 내 입지를 강화하고 있어 주목된다.

◆ '공정-장비-소재'의 3중 통합 개발 전략

지순과기는 2000년 11월 설립된 중국 반도체 공정 장비·소재 기업으로, 초고순도 공정 시스템 분야에서 출발해 반도체 습식 세정 장비와 전자재료, 전문 서비스 등으로 사업 영역을 확대해왔다.

최근 몇 년 동안 반도체 산업 매출이 전체 매출의 약 80%를 차지할 정도로 집적회로 산업에 집중하고 있다. '공정-장비-소재'의 3중 통합 개발 전략을 고수하며, 웨이퍼 제조 고객에게 구축 및 시운전부터 안정적인 운영에 이르기까지 제품 및 서비스의 전 생애주기를 제공하고 있다.

2010년 연간 수주액이 처음으로 1억 위안을 돌파한 데 이어, 2015년 반도체 습식 공정 장비 분야 진출을 결정하고 2016년 관련 사업부를 조직하며 반도체 장비 사업을 본격적으로 확대했다.

회사 창립 17주년인 2017년 1월 13일에는 상하이증권거래소에 상장하며 자본력을 강화하는 계기를 마련했다. 2018년에는 장쑤(江蘇)성 치둥(啟東)시에 대규모 제조기지를 구축하고 습식 장비 생산공장을 가동했으며, 같은 해 습식 장비 첫 수주를 확보했다. 이듬해인 2019년에는 치둥 생산기지에서 제작한 첫 장비를 출하했다.

2019년 지순과기는 사업 다각화에 본격적으로 나섰다. 광전자·광섬유 기업 보후이테크(波匯科技·Bandweaver)를 인수하고 광전자 사업부를 신설했으며, 같은 해 4월에는 상하이 쑹장(松江)에 5만㎡ 규모의 광전자 연구개발 거점 건설에 착수했다.

같은 해 바이오·제약 기업 파청하오신(琺成浩鑫·PHARMAC)도 인수해 바이오기술사업부를 출범시키며 기존 반도체 사업 외 영역으로 사업 기반을 넓혔다.

2020년에는 창립 20주년을 맞아 조직 전문화에 나서는 한편, 안후이(安徽)성 허페이(合肥)시에 웨이퍼 재생 및 반도체 부품 재생 사업장을 건설하기 시작했다.

이어 2021년에는 연간 수주액이 32억 위안을 돌파, 상장한 지 5년 만에 수주 규모를 3억 위안에서 30억 위안으로 확대하겠다는 성장 목표를 달성했다. 이와 함께 해당 년도 허페이의 웨이퍼·부품 재생 사업은 시범 운영에 들어갔으며, 습식 공정 장비 누적 출하량 100대라는 이정표적 기록도 달성했다.

2022년에는 새롭게 5개년 발전계획을 수립하고 상하이 쯔주(紫竹) 과학단지 빈장(濱江) 지역에 연구개발센터를 세우는 작업에 돌입했고, 2023년 11월 착공식을 개최했다. 회사는 이를 기반으로 연구개발 역량을 강화하고 국제 시장에서 경쟁할 수 있는 중국 반도체 장비 기업으로 성장하겠다는 목표를 세웠다.

2024년에는 습식 세정 장비의 기술 고도화에 성과를 냈다. 자회사 즈웨이반도체(至微科技·ZHIWEISEMI)는 첨단 공정 수요에 대응하는 S300-D 습식 장비 플랫폼을 공개했다. 기존 플랫폼보다 시간당 웨이퍼 처리량(WPH)을 30% 높였으며, 고온 황산·과산화수소 혼합액(SPM, Sulfuric Peroxide Mixture) 세정, 웨이퍼 후면 식각, 사전 세정, 베벨(웨이퍼 가장자리 처리) 처리 등 주요 공정을 지원하도록 설계됐다. 회사는 습식 공정 전반을 아우르는 4개 기술 플랫폼을 구축하고, 28나노미터 공정용 장비 개발을 완료하는 등 제품군을 확대했다.

고순도 공정 시스템 사업도 성장세를 이어갔다. 2024년 특수가스·고순도 화학약품 공급 장비의 누적 출하량은 3만6000대를 넘어섰고, 한 해 동안 1만대 이상을 출하했다. 같은 해 신규 수주액은 55억7700만 위안으로, 이 가운데 집적회로 분야 비중이 84.55%에 달했고, 그 중에서도 12인치 반도체 고객사로부터 획득한 수주가 전체의 약 88.46%를 차지했다.

2025년 1월에는 즈웨이반도체의 단일 웨이퍼 고온 SPM 세정 장비가 장비 1대 기준 누적 처리량 70만 장을 넘어섰다고 발표했다. 해당 장비는 2022년 출시된 제품으로, 중국산 12인치 황산 세정 장비 가운데 대규모 양산라인에 적용된 첫 사례라고 회사는 소개했다.

이어 2025년 6월에는 상하이시 집적회로산업협회로부터 '2024년도 상하이 집적회로 장비업(중국 본토 기업) 매출 상위 5위'에 선정됐다. 이는 반도체 장비 사업에서 확보한 시장 입지를 보여주는 대외적인 이정표다.

2026년 상반기에는 고온 SPM세정 장비의 1대 기준 누적 처리량이 100만 장을 넘어섰다.

회사는 28나노미터 공정용 습식 장비 전 공정 제품군의 개발을 마치고 전체 제품군에서 고객 주문을 확보했으며, SPM·FinFET 세정·단일 웨이퍼 인산 세정 등 고난도 장비 분야에서도 주문과 검증을 진행하고 있다고 밝혔다.

◆ 반도체 산업 핵심 공정 연계 '5대 제품라인'

지순과기는 반도체 산업의 핵심 공정에 필요한 장비와 시스템, 전자재료 및 전문 서비스를 공급한다.

회사의 사업은 고객사의 생산라인 구축 단계부터 안정적인 양산 운영 단계까지 지원하는 구조로 짜여 있다. 웨이퍼 팹의 건설·가동 초기에는 공정 장비와 고순도 시스템을 공급하고, 안정적인 생산 단계에서는 전자재료와 핵심 부품, 유지·관리 서비스를 제공하는 전 주기 사업 모델을 구축했다.

2025년 연례보고서에 따르면 반도체 산업 관련 매출 비중은 최근 수년간 약 80% 수준을 유지하고 있다. 회사는 이와 함께 태양광 공정 장비와 바이오의약품 생산 설비, 광섬유 센서 등 범반도체·기타 사업도 영위하고 있다.

주요 제품라인은 크게 △반도체 공정 장비 △고순도 공정 시스템 통합 △공정 지원 장비 △전자재료 및 전문 서비스 △범반도체 및 기타 사업의 5개로 구분된다.

<中 거인의 공급망] ②③특수가스 시스템 강자 '지순과기' 없으면 'YMTC'도 없다>로 이어짐.

pxx17@newspim.com