[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 전자현미경 전문기업 코셈이 레이저 및 자동화 장비 전문기업 한빛레이저와 반도체 자동화 검사장비 개발에 착수했다고 6일 밝혔다.

양사는 코셈의 대기압 주사전자현미경(SEM) 기술과 한빛레이저의 자동화 제어 기술을 결합해 반도체 제조 공정에 적용 가능한 인라인 검사장비를 개발하기로 했다. 코셈은 대기압 SEM 핵심 기술을 제공하고, 한빛레이저는 장비 구조 설계와 자동화 제어 시스템을 담당한다.

회사에 따르면 코셈은 2003년 설립된 SEM 전문기업으로 전자현미경의 설계부터 제조, 판매까지 자체 기술력으로 사업을 영위하고 있다. 기존 SEM은 높은 해상도로 미세 구조를 관찰할 수 있지만 전자빔 산란을 줄이기 위해 시료를 진공 상태로 만들어야 해 검사 전 진공 형성과 웨이퍼 절단 등 전처리에 많은 시간이 소요됐다. 코셈은 이러한 한계를 보완하기 위해 대기압에서도 전자현미경 관찰이 가능한 기술을 개발했다.

산업통상자원부 국가신기술(NET) 인증을 받은 '다중창 그래핀 멤브레인' 및 다중 홀 구조 관련 기술을 기반으로 진공 환경 없이도 시료를 관찰할 수 있다. 이를 통해 300mm 반도체 웨이퍼의 비파괴 검사와 나노미터 수준의 미세 결함 분석이 가능하다.

AI 반도체 시장 성장과 함께 고대역폭메모리(HBM) 등 2.5D·3D 첨단 패키징 기술이 고도화되면서 미세 결함을 정밀하게 확인하고 수율을 확보하기 위한 검사 기술의 중요성이 커지고 있다.

양사는 시제품 개발과 성능 검증을 거쳐 주요 반도체 고객사를 대상으로 파일럿 테스트를 추진할 계획이다. 코셈은 이번 협력을 계기로 기존 데스크톱 SEM 중심의 사업 영역을 반도체 및 첨단 산업용 검사장비 분야로 확대하고, 기존 이온 폴리셔의 글로벌 기업 공급 사례 등을 바탕으로 글로벌 고객 접점을 넓힐 방침이다.

이준희 코셈 대표는 "AI 반도체 시장에서는 기존 검사 방식의 한계를 보완할 수 있는 새로운 기술이 중요해지고 있다"며 "한빛레이저와의 기술 협력을 통해 대기압 SEM의 자동화 장비 구현과 상용화를 추진하겠다"고 말했다.

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