[서울=뉴스핌] 서영욱 기자 = 삼성전자가 반도체 핵심 소재인 네온가스 재활용 시스템을 본격 가동하며 원가 절감과 공급망 안정화에 나섰다. 반도체 제조 과정에서 발생하는 부산물을 다시 생산 원료로 활용하는 자원순환 체계를 확대해 원자재 수입 의존도를 낮추겠다는 전략이다.

30일 삼성전자에 따르면 디바이스솔루션(DS)부문은 지난 16일 평택사업장에서 '네온 재활용 시스템(Ne Recycling System)' 가동식을 열고 재활용 공정을 본격적으로 시작했다.

네온가스는 웨이퍼에 빛을 이용해 회로를 새기는 포토 공정의 핵심 소재다. 삼성전자는 2022년부터 협력사들과 재활용 기술 및 설비 개발을 추진해 왔다. 향후 다른 생산라인으로 시스템을 확대해 원가 절감과 공급 안정성을 높일 계획이다.

텅스텐 재활용 기술 확보에도 나섰다. 반도체 금속 배선 공정에서 사용하는 육불화텅스텐(WF6) 가스의 부산물을 정제해 다시 제조 원료로 활용하는 방안을 추진 중이다. 텅스텐은 수입 의존도가 높은 핵심 소재로 재활용 기술이 확보되면 공급망 위험을 줄일 수 있다.

사업장 폐기물의 자원화도 확대하고 있다. 화성사업장은 연간 약 90톤의 커피 찌꺼기를 비료 원료로 재활용하고 있다. 평택사업장은 유한킴벌리와 사용한 핸드타월을 새 제품의 원료로 재생하는 사업을 추진한다. 이를 통해 연간 약 50톤의 온실가스 감축 효과가 예상된다.

법적 기준을 충족해 폐기물이 아닌 자원으로 인정받은 품목도 늘었다. 삼성전자 DS부문은 올해 온양사업장 실리콘 슬러지와 평택사업장 폐웨이퍼, 천안사업장 솔더볼 등 3개 품목을 추가해 누적 31개 품목의 순환자원 인정을 취득했다. 올해 확보할 순환자원은 연간 약 8000톤으로 예상된다.

삼성전자는 2030년까지 기흥·화성·평택·천안·온양 등 국내 반도체 제조 사업장의 폐기물 재활용률을 99.9%까지 끌어올릴 계획이다.

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