[서울=뉴스핌] 이나영 기자 설희 인턴기자= 반도체 장비·유통 기업 에이루트의 자회사 앤에스알시(NSRC)가 중국 대형 반도체 제조기업 A사의 생산공장에 적용되는 불화아르곤(ArF) 노광장비의 현지 셋업을 진행하고 있다고 29일 밝혔다.

앤에스알시는 지난 6월 중국 반도체 리퍼비시 장비 전문 에이전트를 통해 A사로부터 ArF 노광장비의 설치와 운영을 위한 기술용역을 수주했다. ArF 노광장비는 미세 반도체 회로 패턴 구현에 사용되는 전공정 장비다. 아이라인(i-line)과 불화크립톤(KrF) 노광장비보다 미세한 공정에 대응할 수 있다.

앤에스알시는 지난 2024년부터 A사에 노광장비 관련 기술용역을 제공하고 있다. 노광장비의 소싱과 점검, 고도화, 이전 설치, 셋업, 유지보수(A/S)까지 관련 엔지니어링 서비스를 제공하고 있다.

회사는 중국 반도체 기업들의 설비투자와 공정 고도화 과정에서 리퍼비시 장비에 대한 수요가 이어질 것으로 보고 중국과 대만 등 해외 고객사를 대상으로 관련 사업을 확대할 계획이다.

회사 관계자는 "중국 반도체 기업들의 설비 투자와 공정 고도화 수요가 이어지는 가운데, 리퍼비시 노광장비는 납기와 비용 효율성 측면에서 성숙·특화공정 고객사의 현실적인 선택지로 주목받고 있다"며 "현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 것"이라고 말했다.

그는 이어 "이번 중국 반도체 대기업향 ArF 노광장비 셋업을 성공적으로 마무리해 현지 생산라인에 필요한 기술력을 입증할 것"이라며 "이외에도 다양한 해외 반도체 고객사를 대상으로 추가 공급계약을 체결해 고부가가치 사업을 확대해 나가겠다"고 덧붙였다.

한편 에이루트는 지난 26일 반도체 노광장비 사업을 핵심 사업부문으로 편입하기 위해 앤에스알시를 흡수합병하기로 결정했다. 합병기일은 오는 2027년 1월 1일이다.

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