美 기술장벽 뚫고 토종 DUV 만들었다는 中 제조사는 어디일까

기사입력 : 2026년07월28일 13:34

최종수정 : 2026년07월28일 14:56

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중국이 27일 액침 DUV 노광장비 소량 양산을 시작해 자국 파운드리에 공급하기로 했다고 했다.
화웨이 출신 R&D 인력과 상하이 국유자본이 결합한 위량성·신카이라이 등 컨소시엄이 DUV 국산화를 주도했다고 했다.
미국의 EUV·DUV 제재 속에서 중국이 DUV·EUV 국산화와 기술 우회를 병행하며 ASML 독점 체제에 중장기 변수로 떠올랐다고 했다.

!AI가 자동 생성한 요약으로 정확하지 않을 수 있어요.

[서울=뉴스핌] 최원진 기자= 중국이 미국의 기술장벽을 뚫고 자체 기술로 '액침(이머전·immersion) 심자외선(DUV) 노광장비' 양산에 들어갔다는 보도가 나오면서 개발과 제조를 맡은 중국 업체가 어디인지 관심이 쏠리고 있다.

첨단 반도체 공정에 필수인 노광장비는 그동안 네덜란드 ASML의 독점 영역이었다. 여기에 도전장을 내민 중국이 DUV 노광장비에서 성과를 내면서 글로벌 반도체 공급망에 미칠 파장도 주목된다.

◆ 화웨이 R&D 인력·국가자본 결합…'국산화 컨소시엄'이 주도

미국 정보기술(IT) 전문 매체 디인포메이션의 27일(현지시간) 보도에 따르면, 상하이에 본사를 두고 국유자본의 지원을 받는 반도체 장비 업체가 액침 DUV 장비의 소량 생산에 돌입했다.

디인포메이션은 해당 업체가 올해 5대, 내년 20대 안팎의 DUV 장비를 중신궈지(中芯國際·SMIC)와 창신메모리(長鑫科技·CXMT), 화훙훙리(華虹宏力·지난 6월 8일 화훙반도체에서 기업명 변경) 등 자국 주요 반도체 제조사에 전달할 계획이라고 전했다. 중신궈지 등 중국 파운드리들은 EUV 장비 없이도 이번에 도입되는 액침 DUV에 다중 패터닝(Multi-Patterning) 공정을 적용해 스마트폰과 인공지능(AI) 시스템용 첨단 반도체를 계속 생산한다는 구상이다.

해당 DUV 제조사는 단일 기업이라기보다 '위량성(宇量昇) 테크놀로지(Yuliangsheng Technology)'를 비롯해 여러 중국 기업의 DUV 연구개발(R&D) 팀과 인력을 한데 끌어모아 만든 국산화 컨소시엄 성격으로 알려졌다.

이 연합체의 핵심 축인 위량성은 상하이시 국유자본과 반도체 장비 기업 신카이라이(新凱來·SiCarrier·사이캐리어)가 합작 설립한 회사다. 상하이 증권보와 중국 경제일보 등 현지 매체에 따르면 신카이라이는 화웨이(華為·Huawei) 사내 연구소 출신 인력 1000여 명이 나와 설립한 곳으로, 사실상 화웨이가 기술 개발을 주도하고 정부 자본이 자금을 댄 구조다.

업계에서는 이번 DUV 국산화가 위량성과 신카이라이 같은 장비업체뿐만 아니라 팹리스(반도체 설계) 선두인 화웨이, 노광 기술을 보유한 상하이웨이뎬쯔(上海微電子·SMEE), 그리고 칭화대 등 학계 연구진이 고루 결합한 '연합체'의 작품으로 보고 있다.

다만 독보적인 세계 1위 ASML과의 격차는 여전히 뚜렷하다. ASML이 연간 130대가 넘는 액침 DUV를 출하하는 반면 중국산 장비는 올해 5대 생산에 불과해 수량 면에서 비할 바가 못 된다. 기술 면에서도 이번 장비는 ASML이 2000년대 후반 선보인 초기 액침 DUV 수준에 머물러 있어, 초정밀도·수율·장비 신뢰성 측면에서 수년 이상의 기술 격차가 존재하는 것으로 평가된다.

◆ EUV 원천 봉쇄부터 정비 서비스 차단까지…미국의 고강도 제재

그럼에도 DUV 국산화 소식은 그간 미국의 제재망을 뚫고 이뤄낸 성과라 주목된다. 미국은 중국의 반도체 굴기를 저지하기 위해 단계적으로 제재 수위를 높여왔다. 도널드 트럼프 1기 행정부 시절인 2019년부터 네덜란드 정부를 압박해 첨단 공정에 필수적인 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비 대중국 수출을 전면 차단했다.

이후 조 바이든 행정부 시기인 2023년부터는 DUV 장비를 활용한 7나노 칩 생산마저 봉쇄하기 위해 고성능 액침 DUV 장비까지 규제 대상에 포함했다. 최근 미 의회는 이미 중국에 도입된 기존 DUV 장비의 부품 공급과 유지보수 서비스까지 차단하는 매치 법안(MATCH Act)을 추진하며 압박을 강화하고 있다.

그러나 중국은 적층 설계를 활용한 기술 개발과 멀티 패터닝 고도화, 그리고 이번 DUV 국산화 등을 통해 미 제재망을 우회하는 독자적 생존 방식을 지속해서 모색하고 있다. 상하이 증권보의 지난 5월 26일 자 보도에 따르면 화웨이는 EUV 장비 없이도 적층 설계를 적용해 집적도를 높이는 이른바 '타오의 법칙'을 제시하며 기술 돌파 의지를 밝히기도 했다.

◆ 밀반입 의혹과 투트랙 EUV 국산화 추진

DUV 국산화와 함께 최첨단 EUV 장비의 중국 유입 가능성을 둘러싼 갈등도 표면화되고 있다. 블룸버그통신의 지난 6월 19일자 보도에 따르면, 미 상무부는 ASML 측에 최첨단 EUV 장비 일대와 관련 핵심 부품이 미국의 수출 통제를 어기고 중국으로 유입됐을 가능성에 대해 우려를 전달한 바 있다. 이에 대해 ASML은 전 세계 장비 위치를 엄격히 추적하고 있어 구조적으로 불가능하다며 강하게 반박한 바 있다.

이와 별도로 중국은 국가 차원의 EUV 자체 개발을 병행하고 있다. 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)의 2023년 9월 25일 자 보도에 따르면, 중국 칭화대학교 연구진은 입자가속기를 활용해 광원을 만드는 기술을 바탕으로 거대한 공장 형태의 EUV 건설을 추진하고 있다. 중국은 신카이라이 등을 통해 EUV 시제품 개발을 진행 중이나, 상용화까지는 앞으로도 수년 이상이 걸릴 것으로 전망된다.

미국의 압박이 거세질수록 중국의 반도체 자립 속도 역시 가빠지는 양상이다. 초기 단계인 중국산 액침 DUV가 당장 글로벌 시장 구도를 흔들기는 어렵겠지만, 국산화 물량이 본격 확대될 경우 독점적 지위를 누려온 네덜란드 ASML의 시장점유율 축소는 불가피할 전망이다.

wonjc6@newspim.com

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'정교유착' 한학자 1심 징역 2년 선고 [서울=뉴스핌] 백승은 기자 = 윤석열 정부와 세계평화통일가정연합(통일교)의 정교유착 사건의 정점으로 알려진 한학자 통일교 총재가 정치자금법 위반 혐의 1심 재판에서 총 징역 2년을 선고받았다. 서울중앙지법 형사합의27부(재판장 우인성)는 31일 오후 정치자금법 위반 등 혐의를 받는 한 총재와 정원주 전 비서실장(천무원 부원장), 윤영호 전 통일교 세계본부장, 윤 전 본부장의 배우자이자 전 통일교 재정국장 이모 씨에 대한 선고기일을 열었다. [서울=뉴스핌] 사진공동취재단 = '정교 유착' 의혹에 연루된 한학자 통일교 총재가 31일 오후 서울 서초구 서울중앙지방법원에서 열린 1심 선고기일에 출석하고 있다. 2026.08.31 photo@newspim.com 이날 재판부는 한 총재의 정치자금법 위반 혐의와 청탁금지법 위반·업무상 횡령에 대해 각각 징역 1년씩, 총 징역 2년을 선고했다. 함께 재판에 넘겨진 정 전 비서실장은 정치자금법 위반은 징역 8개월, 업무상 횡령은 징역 8개월을 선고하면서도 각 형에 대해 집행유예 2년을 결정했다. 윤 전 본부장은 징역 6개월, 이씨는 징역 6개월에 집행유예 1년을 내렸다. 이 사건에 대해 재판부는 "자금력을 앞세워 제20대 대선을 교세 확장 기회로 보고, 해당 후보(윤석열 전 대통령)가 당선돼 새 정권 출범 후 통일교 정책에 국가 지원을 받아 정치적 영향력을 획득하기 위해 저질러진 범행"이라고 했다. 그러면서 "민주 정치의 건전한 발전에 기여하기 위한 공직자 공무수행을 보장하고 공공기관을 신뢰하기 위해 제정된 청탁금지법 입법취지 훼손했다"라며 "죄책이 가볍지 않다"고 지적했다. ◆ 재판부 "한학자, 통일교 정점…실형 선고 불가피" 한 총재는 2022년 1월 당시 윤석열 국민의힘 대선 후보에게 통일교 지원을 청탁할 목적으로 '윤핵관' 권성동 전 국민의힘 의원에게 통일교 내부 자금을 활용해 불법 정치자금 1억원을 전달했다는 정치자금법 위반 혐의를 받는다. 같은 해 3~4월 통일교 자금 1억4400만원을 국민의힘 소속 의원 등에게 쪼개기 후원했다는 혐의(정치자금법 위반), 그해 7월 건진법사 전성배 씨를 통해 김건희 여사에게 다이아몬드 목걸이와 샤넬 가방 등 7500만원 상당의 금품을 제공했다는 혐의(청탁금지법 위반), 이를 통해 통일교 자금을 횡령했다는 횡령 혐의도 있다. 같은 해 10월 수사기관이 한 총재와 정 전 실장의 카지노 원정도박에 대해 수사를 진행하고 있다는 사실을 알고 윤 전 본부장에게 회계자료를 없애도록 증거인멸을 지시한 혐의(증거인멸교사)도 받고 있다. 재판부는 한 총재가 "통일교의 정점인 사람"이라며 "제20대 대선후보였던 윤석열 전 대통령에게 접근하기 위해 권성동 의원과 접촉해 정치자금 1억원을 제공하고, 그 이후 특별집회 형태로 지지를 표명했다. 이후 김건희에게 명품 가방과 목걸이를 제공했다"고 봤다. 아울러 재판부는 "한 총재의 통일교 내 지위, 윤 전 본부장에 책임을 전가하는 태도 등을 볼 때 실형 선고가 불가피하다"고 했다. 그러면서도 "전반적으로 윤 전 본부장이 (범행을) 계획하고 한 총재의 승인을 받아 실행한 것으로 보이고, 한 총재의 개인적 이익보다 통일교 교세나 정치적 영향력 확장 목적으로 보인다"는 점은 유리한 양형 사유로 참작했다. 또 재판부는 '쪼개기 후원' 업무상 횡령에 대해서는 무죄를, 증거인멸 교사에 대해서는 특검법상 수사대상이 아니라며 공소기각을 선고했다. 한 총재는 구속기소 된 상태에서 재판에 넘겨졌지만 현재 건강 악화를 이유로 일시 석방됐다. 지난달 30일 법원은 한 총재의 구속집행정지 기간을 오는 9월 2일 오후 6시로 연장했다. 이날 한 총재는 선고를 마친 후 '입장 한 말씀 부탁드린다', '항소하실 거냐'는 취재진의 질문에 묵묵부답으로 일관하며 법정을 빠져나갔다. 한편 권 전 의원은 통일교 측으로부터 불법 정치자금을 받은 혐의로 지난달 16일 징역 2년과 추징금 1억원을 대법원에 확정받았다. 이에 대한변호사협회는 권 전 의원의 변호사 등록을 취소했다. 100wins@newspim.com 2026-08-31 15:20