[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 검사·계측장비 전문기업 엠아이티는 한국거래소 지정 전문평가기관의 기술성 평가에서 A등급을 획득했다고 15일 밝혔다.

회사에 따르면 이번 평가에서 자체 개발한 멀티프로브(Multi-Probe) 기반 초고속 자동 초음파 검사 플랫폼의 기술 혁신성과 사업화 가능성을 인정받았다. 엠아이티는 상장주관사인 삼성증권과 함께 올해 하반기 코스닥 상장예비심사를 청구하고 기술특례상장 절차를 본격 추진할 계획이다.

기존 초음파 자동검사장비는 단일 프로브(Single Probe) 방식이 주를 이뤄 검사 속도와 생산성 향상에 한계가 있었다. 반면 엠아이티는 다수의 초음파 프로브를 동시에 구동하는 멀티프로브 플랫폼을 독자 개발해 검사 처리량(Throughput)을 높였으며, 적층형 웨이퍼와 반도체 패키지, 기판 등의 고속 전수 검사를 가능하게 했다.

특히 멀티프로브 운용 과정에서 발생할 수 있는 프로브 간 감도 편차와 신호 정합 문제를 자체 알고리즘으로 보정해 검사 속도를 높이는 동시에 높은 결함 검출 신뢰성을 확보했다. 회사는 이러한 기술이 적층형 웨이퍼 및 첨단 반도체 패키징 공정에서 검사 속도와 생산성을 높이는 핵심 경쟁력이 될 것으로 기대하고 있다.

최근 인공지능(AI) 반도체와 고대역폭메모리(HBM), 하이브리드 본딩, 3D 패키징 등 첨단 패키징 기술이 확산되면서 적층 구조 내부의 미세 결함을 신속하게 검사할 수 있는 고처리량 초음파 검사장비의 중요성이 높아지고 있다. 엠아이티는 국내외 고객사를 대상으로 멀티프로브 초음파 검사장비의 평가를 진행하고 양산 적용을 확대하고 있다.

최종명 엠아이티 대표는 "이번 기술성 평가를 통해 멀티프로브 기반 초고속 검사 플랫폼의 기술력과 사업화 가능성을 인정받았다"며 "AI 반도체와 첨단 패키징 시장 확대에 맞춰 검사 속도와 생산성을 획기적으로 높이는 차세대 초음파 검사장비로 글로벌 시장을 적극 공략하겠다"고 밝혔다.

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