[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 고대역폭메모리(HBM)와 인공지능(AI) 반도체 등 고집적 공정이 확대되면서 반도체 생산 공정에서 물류 시스템의 중요성이 빠르게 커지고 있다. 웨이퍼 이동과 보관 과정에서 발생할 수 있는 미세 오염과 산화 리스크를 얼마나 안정적으로 관리하느냐가 생산성과 수율을 좌우하는 핵심 변수로 떠오르고 있기 때문이다.

반도체 AMHS(자동 물류 반송 시스템) 통합 솔루션 기업 '세미티에스'는 이러한 산업 변화 속에서 클린 컨베이어 시스템과 질소 퍼지(N₂ Purge) 기술을 앞세워 글로벌 반도체 팹(Fab·생산공장) 물류 시장 공략에 나서고 있다. 중국 시장에서 공급 레퍼런스를 확대하는 한편 일본에서는 기술 검증을 진행하며 향후 글로벌 시장 확대 기반을 마련하고 있다.

민남홍 세미티에스 대표는 지난 12일 뉴스핌과 인터뷰에서 "반도체 공정이 미세화되고 고집적화될수록 웨이퍼 이송과 보관 과정에서 산소와 수분, 미세 오염을 안정적으로 제어하는 것이 수율과 직결된다"며 "Fab 내부 물류 시스템 역시 단순한 운반 설비가 아니라 공정 안정성과 생산 효율을 좌우하는 핵심 인프라로 자리 잡고 있다"고 말했다. 이어 "세미티에스는 중국과 일본 시장을 중심으로 사업 기반을 확대하는 한편, 미국 등 주요 반도체 생산 거점으로 사업 영역을 단계적으로 넓혀갈 계획"이라고 밝혔다.

◆ 클린 컨베이어·질소 퍼지 기술…"글로벌 Fab 물류 핵심 인프라"

2014년 설립된 세미티에스는 반도체 자동화 물류 시스템(AMHS) 전문 기업이다. 클린 컨베이어 시스템과 질소 퍼지 시스템을 중심으로 반도체 전공정 물류 인프라 솔루션을 공급하고 있으며, 국내 SK하이닉스를 비롯해 중국 NAND 플래시 반도체 팹 등 글로벌 메모리 반도체 고객사들과 협업 경험을 축적해 왔다.

특히 회사의 핵심 경쟁력으로 꼽히는 기술은 '클린 컨베이어 시스템'이다. 민 대표는 "전공정 Fab 환경에 적용 가능한 클린 컨베이어 시스템을 상용화한 기업은 글로벌 시장에서도 많지 않다"며 "국내에서는 세미티에스가 유일하게 해당 시스템을 상용화한 기업"이라고 말했다. 이어 "클린 컨베이어 시스템은 시간당 700 FOUP 이상 처리할 수 있는 고처리량을 구현하면서도 높은 정지 정밀도와 저진동 설계, 청정도 유지 성능을 동시에 확보하고 있다"고 강조했다.

질소 퍼지 시스템 역시 회사의 또 다른 핵심 기술이다. 민 대표는 "웨이퍼는 산소나 수분에 매우 민감하기 때문에 이송이나 대기 과정에서 미세한 오염이 발생하면 공정 수율 저하로 이어질 수 있다"며 "세미티에스의 질소 퍼지 시스템은 FOUP 내부에 안정적인 질소 환경을 형성해 이러한 리스크를 최소화하고 공정 안정성을 높이는 역할을 한다"고 설명했다.

특히 세미티에스의 퍼지 기술은 기존 장비를 개조하지 않고도 적용할 수 있는 'Add-on 방식'이 특징이다. 민 대표는 "일부 글로벌 솔루션은 장비 교체나 대규모 설비 개조가 필요한 경우가 있지만 세미티에스 시스템은 기존 장비를 유지한 상태에서 적용할 수 있다"며 "설비 개조 부담과 생산 중단 시간을 줄일 수 있다는 점에서 고객사들의 관심이 높다"고 말했다.

세미티에스는 이러한 기술 경쟁력을 기반으로 글로벌 시장 확대에도 속도를 내고 있다. 현재 회사 매출 구조는 해외 비중이 약 80%, 국내가 약 20% 수준으로 글로벌 반도체 고객사 프로젝트 중심의 사업 구조를 형성하고 있다.

특히 중국은 세미티에스가 주요 반도체 고객사 프로젝트를 수행하며 사업 기반을 넓혀 온 핵심 시장이다. 현지 메모리 반도체 팹을 중심으로 클린 컨베이어 시스템과 질소 퍼지 솔루션을 공급하며 레퍼런스를 확보해 왔다. 민 대표는 "중국은 당사가 주요 반도체 고객사 프로젝트를 수행하며 사업 기반을 넓혀 온 핵심 시장"이라며 "현지 레퍼런스를 기반으로 추가 고객사를 확보하고 메가 팹 시장 점유율을 확대해 나갈 계획"이라고 설명했다.

일본 역시 세미티에스가 중점적으로 공략하고 있는 시장이다. 현재 일본 글로벌 반도체 고객사들과 질소 퍼지 시스템 관련 기술 검증이 진행 중이며, 이를 계기로 일본 시장 내 본격적인 공급 확대를 기대하고 있다.

민 대표는 "일본 시장은 품질 기준과 승인 절차가 매우 까다로운 시장이기 때문에 이 단계까지 진입했다는 것 자체가 기술력이 일정 수준 이상 검증됐다는 의미가 있다"며 "현재 실증 도입 검증이 순조롭게 진행되고 있으며 향후 승인 절차를 거쳐 실제 양산 적용이나 중장기 공급으로 이어질 가능성을 기대하고 있다"고 말했다.

장기적으로는 미국 시장 진출도 추진할 방침이다. 미국을 중심으로 반도체 공장 투자가 확대되면서 Fab 물류 자동화 시스템 수요 역시 늘어날 것으로 보고 있기 때문이다. 민 대표는 "미국은 주요 반도체 기업들이 대규모 투자를 진행하고 있는 만큼 향후 중요한 시장이 될 것으로 보고 있다"며 "글로벌 영업을 본격적으로 확대해 미국 시장 진출도 단계적으로 추진할 계획"이라고 밝혔다.

◆ '천장형 AMR·스토커 퍼지' 개발…"Fab 물류 통합 솔루션 확장"

세미티에스는 반도체 공정 고도화에 대응하기 위해 차세대 물류 자동화 기술 개발에도 속도를 내고 있다. 단순한 이송 장비 공급을 넘어 Fab 전체 물류 흐름과 환경 제어를 함께 설계하는 통합 솔루션 기업으로 도약하겠다는 전략이다.

대표적인 기술이 '스토커 퍼지 시스템(Stocker Purge System)'과 '천장형 AMR(공중 이송 로봇)'이다. 스토커 퍼지 시스템은 웨이퍼가 장시간 보관되는 스토커 내부까지 질소 환경을 정밀하게 제어하는 기술로, 기존 이송 구간 중심의 퍼지 기술을 보관 구간까지 확장한 솔루션이다.

민 대표는 "지금까지는 이송 구간 중심으로 퍼지를 적용했다면 앞으로는 보관 구간까지 환경 제어를 확대해 웨이퍼 산화와 오염 가능성을 더욱 낮추는 것이 목표"라며 "궁극적으로는 공정·이송·보관·로딩 전 구간을 하나의 퍼지 플랫폼으로 연결해 Fab 전체 환경을 안정적으로 관리할 수 있는 통합 시스템을 구축하는 방향으로 기술 개발을 진행하고 있다"고 말했다.

천장형 AMR 역시 차세대 물류 자동화 기술로 개발이 진행되고 있다. 현재 반도체 Fab에서는 OHT와 같은 레일 기반 물류 시스템이 널리 사용되고 있지만, 공장 구조가 복잡해지고 장비 집적도가 높아지면서 공간 활용과 확장성 측면에서 한계가 제기되고 있기 때문이다.

민 대표는 "천장형 AMR은 레일에 고정되지 않고 Fab 천장 공간을 보다 유연하게 활용할 수 있는 3세대 공중 이송 로봇"이라며 "장기적으로는 물류 시스템의 효율성과 유연성을 동시에 높일 수 있는 대안이 될 것으로 보고 있다"고 말했다.

세미티에스는 장기적으로 반도체 산업을 넘어 의료·바이오 등 고청정 환경이 요구되는 산업으로 기술 확장도 검토하고 있다. 민 대표는 "회사 핵심 경쟁력은 초청정 환경에서의 정밀 이송 기술과 이를 하나의 플랫폼으로 연결하는 통합 제어 기술"이라며 "반도체에서 검증된 기술을 기반으로 의료·바이오와 첨단 물류 등 인접 산업으로 적용 범위를 확대할 수 있을 것으로 보고 있다"고 설명했다.

◆ 코스닥 상장 추진…"기술 고도화 및 차세대 솔루션 개발 투자"

현재 세미티에스는 NH스팩29호와의 스팩 소멸 방식 흡수합병을 통해 코스닥 상장을 추진하고 있으며, 상장을 계기로 반도체 Fab 물류 자동화 기술 경쟁력을 강화하고 글로벌 시장 확대에 속도를 낼 계획이다.

민 대표는 "상장을 통해 확보한 자금은 기존 주력 제품의 기술 고도화와 차세대 물류 자동화 솔루션 개발에 집중할 계획"이라며 "단순한 장비 공급 기업을 넘어 Fab 전 구간을 아우르는 통합 물류 솔루션 기업으로 도약하는 것이 목표"라고 밝혔다.

이어 "클린 컨베이어 시스템은 급변하는 반도체 생산 환경과 고객 요구에 대응할 수 있도록 시스템 안정성과 확장성, 무중단 운영 역량을 강화하는 방향으로 고도화를 추진할 계획"이라며 "질소 퍼지 시스템 역시 일부 핵심 부품 국산화와 SP4 계열, N₂ 스토커 등 제품군 확대를 통해 반송과 보관, 퍼징을 아우르는 통합 라인업을 구축해 나갈 것"이라고 설명했다.

또 차세대 성장 동력 확보를 위한 투자도 확대할 계획이다. 민 대표는 "차세대 Fab 물류 자동화 기술로 개발 중인 3세대 공중 이송 로봇인 천장형 AMR 분야에도 개발 자금을 투입해 기술 내재화를 추진할 예정"이라며 "장기적으로는 공정·이송·보관을 아우르는 통합 물류 플랫폼을 구축하는 것이 목표"라고 말했다.

민 대표는 "반도체 Fab은 24시간 멈추지 않고 운영되는 환경이기 때문에 물류 시스템 역시 높은 안정성과 무중단 운영 능력이 요구된다"며 "세미티에스는 이러한 기술 경쟁력을 기반으로 글로벌 반도체 공장의 핵심 파트너로 성장해 나갈 것"이라고 강조했다.

한편 세미티에스는 합병 이후 세미티에스가 존속법인으로 남아 합병 상장을 신청할 예정이며, 합병비율은 1대 0.4432624다. 주주확정 기준일은 오는 16일이며 합병 승인을 위한 주주총회는 내달 17일 개최될 예정이다. 합병기일은 오는 5월 20일로 예정돼 있으며, 이후 절차를 거쳐 6월 중 코스닥 시장 상장을 목표로 하고 있다.

nylee54@newspim.com