[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 22일 CTT는 에프에스티(FST)가 삼성전자 미국 테일러 파운드리 양산라인에 극자외선(EUV) 펠리클 인프라 장비를 공급하며 차세대 EUV 펠리클 시장에서 핵심 공급사로 부상하고 있다고 전망했다. 삼성전자가 에프에스티에 2세대 EUV 펠리클 인프라 장비에 대한 발주(PO)를 진행한 것으로 파악되면서, CNT(Carbon Nanotube) 기반 EUV 펠리클의 양산 도입이 가시화되고 있다는 분석이다.
CTT는 이번에 발주된 장비가 EUV 펠리클 자동 탈·부착 장비(EPMD)와 검사 장비(EPIS)로 구성된 것으로 추정했다. 해당 장비들은 CNT EUV 펠리클을 실제 양산 공정에 적용하기 위한 필수 인프라로, 발주 대상이 미국 테일러 팹이라는 점에서 현지 양산라인에 직접 투입될 가능성이 높은 것으로 분석했다.
보고서에 따르면 CNT EUV 펠리클은 기존 메탈실리사이드(MeSi) 기반 1세대 펠리클 대비 투과율과 내구성이 크게 개선된 것이 특징이다. 특히 고출력 High-NA EUV(500W 이상) 환경에서도 안정적인 공정 대응이 가능해, 2나노 이하 선단 공정에서 필수 소재로 부상하고 있다. CTT는 삼성전자가 High-NA EUV 도입 이후 기존 펠리클의 내구성 이슈를 경험하면서 CNT EUV 펠리클 도입 시점이 앞당겨졌다고 설명했다.
CTT는 에프에스티의 CNT EUV 펠리클이 2026년 2분기 양산 승인, 3분기 시양산, 4분기 본격 양산에 들어갈 가능성이 높다고 내다봤다. 초기 공급 물량은 약 150장 수준으로 추정되며, 공급가는 1세대 대비 두 배 이상인 장당 6000만원 이상으로 형성될 가능성이 제기됐다. 이후 삼성전자 파운드리의 2나노 고객 확대 속도에 따라 2027년 하반기부터는 분기 기준 공급 물량이 빠르게 증가할 것으로 전망됐다.
독점적 사업 구조 역시 에프에스티의 경쟁력으로 꼽혔다. CTT는 에프에스티가 CNT EUV 펠리클 핵심 공정에 필요한 CNT 멤브레인 생산과 관련해 핀란드 기업 카나투(Canatu)와 상업 생산 독점 계약을 체결한 점에 주목했다. 현재 전 세계에서 2세대 CNT EUV 펠리클을 상업적으로 생산할 수 있는 기업은 에프에스티가 유일한 것으로 분석됐다.
CTT는 삼성전자 외에도 북미 파운드리와 메모리 업체들로 수요가 확산될 가능성도 언급했다. 비메모리 2나노 이하 공정뿐 아니라 DRAM 1c 공정부터 EUV 적용이 확대되면서 메모리 분야에서도 펠리클 수요가 증가할 것으로 예상되며, 이에 따라 에프에스티의 EUV 펠리클 및 인프라 장비 매출이 중장기 실적과 기업가치 재평가의 핵심 동력이 될 것으로 전망했다.
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