전체기사 최신뉴스 GAM
KYD 디데이
전국 대전·세종·충남

속보

더보기

대전시, '첨단반도체 핵심' EUV 성능평가센터 구축한다

기사입력 : 2024년05월17일 09:50

최종수정 : 2024년05월17일 09:50

국비 100억원 등 143억원 투입...대전 소재 기업 50% 감면 혜택

[대전=뉴스핌] 김수진 기자 = 대전시는 산업통상자원부가 주관하는 산업혁신기반구축사업의 일환인 'EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축 공모'에 선정돼 국비 100억 원을 확보했다.

17일 대전시에 따르면 EUV(Extreme UltraViolet, 극자외선)는 극자외선 광원을 이용하는 반도체 노광장비다. 최근 첨단반도체 수요가 늘어남에 따라 필수장비인 EUV 분야 시장이 크게 성장하고 있는 추세다.

대전시청 전경 [뉴스핌 DB]

이번 사업은 2024년부터 2028년까지 5년간 추진되며, 국비 100억 원, 시비 22억 원, 민간 부담금 21억 원 총 143억 원이 투입된다.

공모 선정에 따라 한국표준과학연구원 주관 아래 대전테크노파크, 반도체연구조합, 광운대, 전남대 등이 참여해 성능검증평가센터를 구축, 소부장 기업의 기술사업화를 지원할 계획이다.

이번 사업을 통해 대전 소재 반도체 기업은 인증평가서비스 이용 시 비용 50% 감면 혜택과 기술 자문을 받을 수 있다.

한선희 대전시 전략사업추진실장은 "출연연의 우수한 기술을 바탕으로 대전 반도체 소부장 기업의 기술 상용화가 활발히 이루어질 것으로 기대된다"며 "첨단반도체 핵심인 EUV 시장에 대전 기업이 진출할 수 있도록 앞으로도 지원을 아끼지 않겠다"고 밝혔다.

강상우 표준연 전략기술연구소장은 "외국이 독점하고 있는 EUV 기술을 국산화하기 위해 국내 처음으로 Stand-alone 검사장비 활용 EUV 소부장 검증인프라가 구축되는 사업으로서 의의가 크다"며 "반도체 소부장 산업 육성에 최선을 다하겠다"고 말했다.

한편, 대전시는 국내 최초로 Stand-alone EUV 평가시스템 활용 소부장 성능검증과 인프라를 구축해 고부가가치 EUV 신시장 산업을 육성하고 이를 발판 삼아 첨단 반도체산업 혁신생태계 거점 도시로 도약한다는 계획이다.

표준연 내에 EUV 소부장 성능검증평가센터를 설립해 ▲Z-Pinch EUV 광원 ▲LPP EUV 광원 ▲HHG EUV 광원 ▲EUV 감도 검사기 ▲EUV 파워 측정기 ▲EUV 분광기 ▲펠리클 투과율 측정기 ▲EUV 반사경 측정용 진공챔버 등 주요 장비를 구축한다.

이를 기반으로 해외 표준기관과 협력해 EUV 소부장 시험평가 국제표준을 확립하고, EUV 검사기 플랫폼을 활용한 시제품 제작지원, 기술지도 및 실증지원을 통해 국내 EUV 소부장 기업 기술 선도를 지원한다는 구상이다.

nn0416@newspim.com

[뉴스핌 베스트 기사]

사진
李대통령, 오광수 민정수석 사의 수용 [서울=뉴스핌] 이영태 선임기자 = 이재명 대통령은 13일 전날 밤 사의를 표명한 오광수 대통령실 민정수석비서관의 사의를 수용했다. 강유정 대통령실 대변인은 이날 오전 브리핑에서 "오광수 민정수석이 어젯밤 이재명 대통령께 사의를 표했다"며 이같이 말했다. 오광수 대통령실 민정수석비서관 [사진=대통령실] 강 대변인은 "이 대통령은 공직기강 확립과 인사 검증을 담당하는 민정수석의 중요성을 두루 감안해 오 수석의 사의를 받아들였다"고 전했다. 이어 "대통령실은 이재명 대통령의 사법개혁 의지와 국정 철학을 깊이 이해하고 이에 발맞춰 가는 인사로 조속한 시일 내에 차기 민정수석을 임명할 예정"이라고 부연했다. 대통령실 관계자는 차명 부동산과 차명 계좌 의혹으로 오 수석이 물러난 만큼 차기 민정수석 검증 기준에 청렴함 등이 포함될 것이야는 질문에 "일단 저희가 가지고 있는 국정철학을 가장 잘 이해하고 이를 시행할 수 있는 분이 가장 우선적인 이재명 정부의 인사검증 원칙이라고 할 수 있겠다"며 "새 정부에 대한 국민들의 기대감이 워낙 크기 때문에 그 기대에 부응하는 게 첫 번째 사명"이라고 답했다. 이 관계자는 오 수석 건을 계기로 인사 검증 기준이라 원칙이 마련될 수 있느냐는 질의에는 "이 대통령이 여러 번 표방했던 것처럼 우리 정부에 대한 기대감, 그리고 실용적이면서 능력 위주의 인사가 첫 번째 가장 먼저 포방될 원칙"이라며 "그리고 여러 가지 우리 국민들이 요청하고 있는 바에 대한 다방면적인 검토는 있을 예정"이라고 언급했다. medialyt@newspim.com 2025-06-13 09:43
사진
조은석 내란특검 "사초 쓰는 자세로" [서울=뉴스핌] 김현구 기자 = 이른바 '3대 특검(특별검사)' 중 내란 특검을 맡게 된 조은석(60·사법연수원 19기) 전 감사원장 권한대행이 13일 "수사에 진력해 온 경찰 국가수사본부, 고위공직자범죄수사처, 검찰의 노고가 헛되지 않도록 최선을 다해 사초를 쓰는 자세로 세심하게 살펴 가며 오로지 수사 논리에 따라 특검직을 수행하겠다"고 밝혔다. 조 특검은 이날 "수사팀 구성과 업무공간이 준비되면 설명해 드릴 기회를 갖도록 할 것"이라며 이같이 전했다. 조 특검은 현재 퇴직 후 별도 근무 중인 변호사 사무실이 없고 재택근무 중이다. 조은석 내란 특별검사. [사진=뉴스핌DB] 전남 장성 출신인 조 특검은 광주 광덕고와 고려대 법학과를 졸업한 뒤 1993년 수원지검 성남지청에서 검사 생활을 시작했다. 그는 대검찰청 중앙수사부 검찰연구관, 대검 공판송무과장, 대검 범죄정보1·2담당관, 서울중앙지검 형사3부장검사, 서울북부지검 차장검사, 광주지검 순천지청장, 서울고검 형사부장 등을 거쳤다. 이후 2014년 대검 형사부장 시절 세월호 참사 검경 합동 수사를 지휘했고, 청주지검장, 사법연수원 부원장을 지낸 뒤 문재인정부에서 서울고검장과 법무연수원장을 역임한 뒤 검찰을 떠났다. 2011~2025년 감사원 감사위원을 지낸 조 특검은 임기 중 전현희 전 국민권익위원회 위원장에 대한 감사가 '표적 감사'라며 제동을 거는 등 윤석열정부와 대립하기도 했다. 한편 이재명 대통령은 전날 저녁 내란 특검에 조 특검, 김건희 특검에 민중기 전 서울중앙지법원장, 채해병 특검에 이명현 전 국방부 검찰단 고등검찰부장을 각각 지명했다. 조 특검과 민 특검은 더불어민주당 추천, 이 특검은 조국혁신당 추천이다. 각 특검은 최장 20일간 준비기간을 거치게 되며, 내달 초 본격적인 수사가 이뤄질 것으로 예상된다. 내란 특검은 최대 60명, 김건희 특검은 40명, 채해병 특검은 20명의 검사를 파견받을 예정이다. hyun9@newspim.com 2025-06-13 07:42
안다쇼핑
Top으로 이동