상하이증시 커촹판기업 국산 장비 사용
4월 12인치 65nm 파운드리 공장 가동
서양 장비 의존 탈피 반도체독립 잰걸음
[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 중국이 순수 국산 반도체 장비를 이용해 65nm 반도체 생산을 추진하고 나섰다고 중국 반도체 업계 전문 매체인 '중국 대반도체'가 최근 보도했다.
이 매체는 중국 반도체 기업 옌동마이크로(燕东微电子, YDME, 688172.SH)가 75억 위안(1조4000억원)을 들여 순수 중국산 반도체 장비에 기반한 12인치 65nm 파운드리 공장을 4월부터 가동할 계획이라고 보도했다.
옌동마이크로는 3월 중순 열린 이사회에서 올해 4월 부터 12인치 파운드리 생산라인을 정식 가동하기로 결정했다. 이번 조치는 서양 장비 기술에 의존하지 않고, 중국이 순전히 자체 반도체 장비와 기술로 만으로 65nm 반도체 생산을 시도하는 것이어서 주목을 받고 있다.
옌동마이크로는 1987년에 설립된 기업으로 베이징에 본사를 두고 있으며 주로 전력반도체를 생산하는 파운드리로서, 2022년 12월 첨단 과기 시장인 상하이증시 커촹판에 상장했다.
베이징전자홀딩스(北京电子控股, 북경시 국유기업)가 대주주로 지분 35.07%를 보유하고 있고 베이징이좡국제투자(北京亦庄国际投资, 북경시 펀드)가 14.09%, 국가 반도체펀드1기가 9.42%의 지분을 가진 북경시 산하 국유회사다.
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| [베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =중국 베이징의 반도체 기업 옌동마이크로의 12인치 파운드리 생산 라인(베이징). [사진=옌동마이크로 홈페이지]. 2023.03.22 chk@newspim.com |
중국의 국산 노광기 기업인 상하이마이크로(上海微电子, SMEE)는 이미 90nm 국산 노광기를 상용화한 상태인데, 옌동마이크로는 중국 최대 반도체 장비 기업인 베이팡화창(北方华创, NAURA, 002371.SZ)과도 관계사이기 때문에 국산화 장비를 실험하기에 좋은 상황에 있다.
베이징대 한반도연구소 고영화 연구원은 옌동마이크로의 이번 조치에 대해 "중국이 독자 기술 장비의 자체 역량을 총동원해 과연 어느 정도 공정 기술의 반도체를 생산할 수 있는지를 실험한다는데 의미가 크다"고 밝혔다.
고영화 연구원은 "중국이 일차적으로 65nm 이상의 일반 반도체 생산을 서양기술로부터 완전히 독립하려는 전략으로 보인다"고 분석했다.
한편 중국의 유일한 노광기 기업인 상하이마이크로(SMEE)는 중국정부의 전폭적인 지원하에 지난 2016년부터 국산 28nm ArFi 액침노광기 개발에 총력을 기울이고 있다.
베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com
