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[고영화의 중국반도체] <8> 반도체소재, 포토레지스트 국산화 난제 <下>

기사입력 : 2022년12월09일 13:46

최종수정 : 2022년12월09일 14:13

[고영화의 중국반도체] <8> 반도체소재, 포토레지스트 국산화 난제 <上>에서 이어짐

상하이신양(上海新阳, SinYang, 300236.SZ)은 중국 제일의 반도체 습식전자화학 소재기업으로서, 1999년 설립 이래, 전자전기도금 및 전자세정 등 2개 분야에 집중했다. 국내발명특허 102건, 국제발명특허 8건을 확보하는 등 관련 기술이 이미 세계수준에 이르렀으며, 140여종의 전자전기도금 및 전자세정 기능성 화학소재를 생산하고 있다.

또한 최근 포토레지스트(i-line, KrF, ArF) 분야 신규 진입했다. 올해 상반기 매출은 5.50억위안(전년대비 +25.6% 증가)이고, 반도체 산업 비중이 57.6%이다.

장화마이크로 (江化微, Jinghua Micro, 603078.SH, 장인)는 2001년 설립 이후, LCD 패널, 반도체, LED, 태양광 제조공정에서 활용되는 특수 습식전자화학 소재인 초순도 시약, 포토레지스트 보조 시약 등을 전문적으로 생산한다.

장인(江阴) 본부는 년 9만톤 생산규모이고, 쩐장(镇江) 공장은 년22.8만톤, 쓰촨(四川)공장은 년6만톤 생산규모이다. '2016년 중국반도체소재10대기업'에 선정되기도 했다. 올해 상반기 매출은 4.70억위안(전년대비 +40.2% 증가)이며, 초순도 시약 비중이 67.8%, 포토레지스트 보조시약 비중이 32.2% 이다.

페이카이재료(飞凯材料, PhiChem, 300398.SZ, 상하이)는 2002년 설립부터 광통신 분야 자외선 경화소재를 개발/생산했고, 이후 반도체, LCD, 의약품 중간재 등으로 사업을 확장해왔다. 안칭(安庆)시, 난징시, 후이저우(惠州)시 등 3개 공장을 보유하고 있다.

반도체 화학소재로는 현상액, 에칭액, 박리액, 도금액 등을 생산하고, i-line 포토레지스터 제품도 양산한다. 올해 상반기 매출은 16.5억위안(전년대비 +36.7% 증가)이며, 반도체 소재비중은 17.8%이다.

징루이전자재료(晶瑞电材, Jingrui, 300655.SZ, 쑤저우)는 포토레지스트로부터 출발했지만, 초순도시약(산계, 알칼리계, 케톤계, 지질계, 탄화수소계, 할로겐계) 및 기능성 소재(현상액, 박리액, 각식액, 시너, 세정액 등)을 생산하는 습식화학 제품을 생산한다. 올해 상반기 매출 9.43억위안 중에 초순도 화학제품 비중이 22.9%나 된다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =상하이신양(SinYang)의 상하이 소재 본사 전경 (출처: 상하이신양 홈페이지, 2022.12). 2022.12.09 chk@newspim.com

◆ 연마광택, 미국의 독주 속 안지과기(Anji) 중국시장 22% 달성

반도체 연마광택(CMP) 공정은 웨이퍼 가공 후 울퉁불퉁한 웨이퍼 표면을 평탄화 하는 공정으로, 미세한 반도체 생산으로 가면 더 수요가 커진다. 예를들어 14nm 로직 반도체 제조 시 20번의 CMP과정이 필요하지만, 7nm 반도체 제조 시에는 30번이 필요하며, 2D NAND가 3D 기술로 발전하면 CMP공정 회수가 2배로 늘어나게 된다. CMP소재 중 연마액은 49% 비중을 차지하고, 연마패드 비중은 33%이다.

세계 연마액 시장 미국 캐보트(Cabot) 64%, 일본 히타치(Hitachi) 13%, 후지미(Fujimi) 10%, 미국 버슘(Versum) 9% 등 4대 기업이 65%의 시장을 과점하고 있고, 중국 기업으로는 유일하게 안지과기(Anji)가 4.5% 시장을 차지하고 있다. 반면 세계 연마패드 시장은 미국 다우(Dow) 1개사가 79%를 독점하고, 뒤를 이어 캐보트 5%, 토마스웨스트(Thomas West) 4% 등이 일부 시장을 점유하고 있다.

중국 연마액 시장은 미국 캐보트(Cabot)가 64%를 차지하고, 중국 안지과기(Anji)가 22%를 차지하고 있으며, 연마패드는 미국 다우(Dow)가 약 90%를 독점하고, 중국 기업은 딩롱구펀(Dinglong)이 이름을 내미는 정도이다.

안지과기(安集科技, Anji, 688019.SH, 상하이)는 중국 최대의 연마액 기업으로서, 2006년 설립된 이래, 반도체 연마액과 및 포토레지스트 제거액을 개발/생산한다. 28-14nm공정용 연마액은 양산 중이며, 10-7nm 공정제품은 개발완료 단계이다. 올해 상반기 매출은 5.03억위안(전년대비 +77.9%)이고, 연마액 비중은 87.4% 이다.

딩롱구펀(鼎龙股份, Dinglong, 300054.SZ, 우한)은 2000년 설립이래 프린터 소모품(컬러 파우더, 카트리지 등)과 반도체 CMP(연마패트, 연마액, 세정액 등) 소재를 개발/생산한다. 특히 28nm 이상 공정용 연마패드는 양산 중이고, 14nm 이하 공정용 제품은 고객테스트 중이며, 년 30만장을 생산할 수 있다. 올해 상반기 매출은 13.1억위안(전년대비 +19.7% 증가)이고, CMP 비중은 19.3%이다.

이외에도, 완화화학(万华化学, Wanhua, 600309.SH)은 연마액과 연마패드를 양산을 공장을 건설 중이고, 닝보잉웨이타이커(宁波赢伟泰科, Inventech), 쑤저우관셩(苏州观胜, IVT), 상하이신첸(上海芯谦, XinQian) 등은 연마패드를 개발/생산 중이다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 안지과기(Anji) 상하이 본사 전경 (출처: 안지과기 홈페이지, 2022.12).  2022.12.09 chk@newspim.com

◆ 포토마스크, 일본기업의 독주 속 중국은 걸음마 단계

포토마스크는 반도체 제조 노광공정에서 웨이퍼 위에 그려 넣을 반도체 회로패턴의 원반이다. 석영, 소다, 릴리프 플레이트, 필름 등으로 만들 수 있지만, 석영마스크가 세계시장의 95% 이상을 차지한다.

2019년 세계 반도체 포토마스크 시장규모는 대만(37.9%), 한국(20.9%), 북미(19.3%) 순이며 중국 본토는 0.6%에 불과하다. 일본 호야(HOYA), SKE, PKL 등이 시장을 독점하고 있다.

중국의 포토마스크 국산화율은 매우 낮은 수준이지만, 칭이광전(Supermask)과 루웨이광전(Newway) 등이 블랭크 포토마스크를 생산하고, 페이리화(Feilihua)와 스잉구펀(Pacific Quartz) 등은 석영 원재료를 공급하는 공급망을 형성하고 있다.

칭이광전(清溢光电, Supermask, 688138.SH, 선전)은 1997년 설립된 중국 최대의 포토마스크 기업이다. 반도체용 제품은 250nm 공정의 6/8인치 웨이퍼 포토마스크는 양산 중에 있으며, 180nm공정용은 고객인증을 진행 중이며, 130-65nm 공정용은 기술을 개발 중이며, 앞으로 28nm 공정용은 개발계획을 수립 단계이다. 올해 상반기 매출은 3.42억위안(전년대비 +50.2% 증가)이고, LCD 비중 75%, 반도체 비중 15%이다.

루웨이광전(路维光电, Newway, 688401.SH, 선전)은 2012년 설립된 LCD 포토마스크 전문기업으로서, 2.5세대(G2.5)부터11세대(G11) 대형 패널까지 FPD 포토마스크 제품 보유했다. 반도체용은 250nm공정용을 양산하고 있으며, 180-150nm 공정 제품은 시제품 단계이다. 올해 상반기 매출은 2.92억위안(전년대비 +43.5% 증가)이며, 반도체 비중은 20%이다.

페이리화 (菲利华, Feilihua, 300395.SZ, 징저우)는 1966년 설립된 국유기업 샤스석영유리공장(沙市石英玻璃厂)이 1999년 민영화 되어 설립되었고, 포토마스크의 원재료인 석영유리 및 석영모래를 생산한다. 2011년 일본 TEL의 반도체 소재 인증을 받았고, 이어 미국 램(LAM) 및 어플라이트머티리얼(AMT) 등의 인증을 받은 기술력을 보유했다. 올해 상반기 매출은 8.55억위안(전년대비 +57.1%)이다.

스잉구펀(石英股份, Pacific Quartz, 603688.SH, 장쑤)은 1999년 설립되었고, 석영모래 등 석영원재료를 생산하며, 광원, 태양전지, 반도체 및 광섬유광학 등에 활용된다. 올해 상반기 매출은 6.97억위안(전년대비 +58.0%)이다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 페이리화(Feilihua)의 석영유리 제품 (출처: 페이리화 홈페이지, 2022.12).  2022.12.09 chk@newspim.com

◆ 중국 반도체 소재 산업 국산화는 선택이 아닌 '필수'

지난 10월말 미국은 중국에 대한 반도체 제재를 더 확대했다. 18nm 이하의 D램, 128단 이상의 낸드프레시(NAND Flash), 14nm 이하의 파운드리와 관련된 기술, 장비 및 인력의 대중 수출을 전면 금지시켰다. 이제 중국은 미국 및 서방에서 첨단 반도체 기술을 가져오기가 훨씬 어렵게 된 것이다.

더욱이 중국의 우방국 중에는 첨단 반도체 기술을 가지고 있는 나라가 하나도 없는 상황이기 때문에, 반도체 공급망을 독자적으로 완성해야 하는 것은 선택이 아닌 필수조건이 되었다. 특히 반도체 장비와 함께 공급망 구축의 핵심인 반도체 소재 국산화를 '인해전술'식으로 추진하는 중국을 지속적으로 모니터링 할 필요가 있다.

또한 일본의 충격적인 '반도체 소재 수출통제'를 받은 경험한 이후, 반도체 소재 공급망의 다변화를 꾀하고 있는 한국은 중국에서 대안을 찾을 수도 있을 것이다.

◆ 중국 반도체 설계, 제조, 후공정, 장비, 소재 등 연재 일단락

오늘까지 8차례에 걸쳐 반도체 설계, 제조/파운드리, 후공정, 장비, 소재 등 중국 반도체 5대 산업 전반을 구조적으로 이해하는 연재를 일단락하게 되었다.

다음 시리즈 부터는 반도체 주요 응용분야인 이미지 센서, AI반도체, 자동차 반도체, 휴대폰 반도체, MCU 반도체, 3세대 반도체 등의 특징을 분석해서 연재할 것이다.

 

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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소고기 콕 집은 트럼프...축산농 반발 [세종=뉴스핌] 이정아 기자 = 다음 달 1일 한국에서 생산돼 미국으로 수입되는 모든 제품에 '25% 상호관세' 부과를 앞둔 상황에서 한미 간 막판 협상에 돌입했다. 이번 협상에서 미국은 30개월령 이상 미국산 소고기 수입 제한 철폐를 강하게 요구하며 한국을 압박하고 있다. 정부는 미국 측의 압박으로 30개월령 이상 미국산 소고기 수입 허용 등 농축산물 비관세장벽 카드를 협상테이블에 올리는 방안을 고심 중이다. 다만 농민단체의 반발과 국민 신뢰가 흔들릴 것으로 예상되면서 '제2의 광우병 사태'가 재현되는 것 아니냐는 우려도 제기된다.  ◆ 美, 30개월령 이상 소고기 압박…韓, 농산물 카드 검토 28일 정부에 따르면 도널드 트럼프 미국 대통령은 호주가 미국산 소고기를 개방했다는 점을 연일 언급하며 한국에도 같은 수준의 개방을 요구하고 나섰다.  도널드 트럼프 대통령은 지난 24일(현지시간) 소셜미디어인 트루스소셜에 "호주가 미국산 소고기를 받아들이기로 합의했다"며 "이제 우리는 호주에 (미국산) 소고기를 많이 팔 것"이라고 게시했다. 도널드 트럼프 미국 대통령.[사진=로이터 뉴스핌] 2025.07.25 mj72284@newspim.com 이어 "우리의 훌륭한 소고기를 거부하는 다른 나라들도 (개방) 요구를 받은 상태"라며 "이 좋은 흐름을 이어가자. 지금은 미국의 황금기"라고 덧붙였다. 트럼프 대통령은 소고기 개방을 거부하는 국가를 구체적으로 명시하지는 않았지만, 관세협상을 앞둔 한국을 겨냥한 것 아니냐는 해석이 나왔다. 제이미슨 그리어 미국 무역대표부(USTR) 대표와 브룩 롤린스 미국 농무부 장관 또한 트루스소셜을 통해 "지난 20년간 비과학적인 무역 장벽 때문에 우리 소고기가 호주 소비자들에게 판매되지 못했다는 것은 터무니없다"는 성명을 발표했다. 이들은 "미국 농축산업자들은 세계에서 가장 안전하고 건강한 소고기를 생산하고 있다"며 "USTR은 불공정한 무역 관행을 타파하고 미국 국민이 주요 시장에 배제되지 않도록 미국의 무역 파트너들과 계속 협상할 것"이라고 밝혔다. 미국이 협상을 진행하는 국가를 대상으로 연일 30개월 이상 소고기 개방을 압박하면서, 한국도 소고기 카드를 협상 테이블에 올릴지 여부를 검토 중이다.  김용범 대통령실 정책실장은 지난 25일 한미 관세협상과 관련해 "협상 품목 아래 농산물도 포함돼 있다"며 "농업이나 디지털 분야는 제이미슨 그리어 미 무역대표부(USTR) 대표와 여한구 통상교섭본부장 간 협상이 계속 이어지고 있다"고 전했다. 당초 정부는 한미 관세협상에서 농업분야 보호를 우선으로 두고, 30개월령 이상 미국산 소고기 개방 등 비관세 장벽을 해소할 카드를 협상 테이블에 올리지 않기로 방침을 정한 바 있다. 한 대형마트의 미국산 쇠고기 진열대 모습 <뉴스핌 DB> 그러나 지난 25일(현지시간) 미국 워싱턴DC에서 열릴 예정이었던 한미 고위급 '2+2 통상협의'가 스콧 베센트 미국 재무장관의 일정 사유로 전날 취소되면서 미국이 한국의 협상 태도에 불편을 느낀 것 아니냐는 지적이 나왔다. 앞서 미국은 우리나라에 대해 25%의 상호관세를 부과하는 행정명령에 서명했다. 이는 오는 8월 1일부터 적용되며, 한미 양국은 관세 협상을 진행 중이다. 트럼프 행정부는 한국에 대해 ▲30개월령 이상 미국산 쇠고기 수입 허용 ▲쌀 시장 추가 개방 ▲유전자변형(LMO) 감자·사과 검역 완화 등을 강하게 요구하고 있다. ◆ 농민단체 "관세협상에 농업 희생양 삼지 말아야"…대정부 투쟁 돌입 정부로서는 30개월령 이상 미국산 소고기 수입에 대해 민감하게 반응할 수밖에 없다. 우선 한국은 현재도 미국산 소고기의 최대 수입국이다. 지난해 미국산 쇠고기 수입액은 22억1000만달러로 집계됐다. 전체 수입액(38억4700만달러) 대비 57.4%를 차지한다. 미국산 쇠고기 수입액은 지난 2004년 1억300만달러에서 2012년 5억2200만달러, 2016년 10억3500만달러로 20억달러를 넘기다 2022년에는 26억2400만달러로 역대 최대치를 기록했다. 지난해까지의 연평균 증가율은 17.5%다. 이재명 대통령 [사진=대통령실] 우리나라는 이른바 '광우병 파동' 이후 30개월령 미만 미국산 소고기만 수입하고 있다. 지난 2008년 한미 쇠고기 협상이 타결됐고, 우리 정부가 30개월령 이상 미국산 소고기까지 수입한다는 사실이 알려지자 이에 반대하는 촛불집회가 전국적으로 열렸다. 당시 이명박 정부 지지율은 취임 2개월 만에 20%대로 폭락했고, 결국 정부는 미국과 소고기 협상을 일부 재협상했다. 다시 말해 현재 국내 소비자들은 30개월령 이상 미국산 소고기 섭취에 대해 안전하지 못하다는 인식이 기반에 깔려 있다. 또 우리나라 연간 쌀 저율관세할당(TRQ) 물량은 40만8700톤으로, 미국 물량이 이중 13만2304톤(32%)을 차지한다. 쌀 개방은 WTO 규약에 묶여 있기 때문에 한미 양자 간 협상체계가 불가능하다. 다만 미국이 소고기 등 농산물 개방을 미루는 국가에 더 높은 관세를 부과할 계획이라는 점을 연일 강조하면서 국익 측면에서 조선·철강·반도체 등 산업을 보호하고 농산물을 희생해야 하지 않겠냐는 의견도 나온다. 농민단체는 정부의 기류에 대거 반발하고 있다. 한국농축산연합회, 한국종합농업단체협의회, 축산관련단체협의회, 농민의길 등 농축산업 단체는 이날 용산 대통령실 앞에서 결의대회를 개최하고 대정부 투쟁에 나선다. 이들 단체는 "미국산 농축산물은 이미 한미 FTA로 전면개방을 한 마당에 관세 추가 인하 및 비관세장벽까지 철폐된다면 농민 생존권 말살과 함께 국내 농업생산 기반 붕괴는 시간문제일 것"이라며 강하게 규탄한다. 이어 "미국산 소고기에 대한 수입연령 제한과 사과에 대한 식물검역은 국내법과 WTO 등 국제협정 등에 따른 정당한 조치이며, 국민건강과 직결된 것으로 절대 포기해선 안 되는 문제"라며 "농축산물을 협상대상에서 제외해 식량주권과 국민건강권을 반드시 사수할 것"을 정부에 촉구했다. 단체 관계자는 "한미 관세협상 추이를 예의주시하면서 요구가 묵살될 경우 대대적인 추가 농민항쟁을 벌이겠다"고 예고했다. [서울=뉴스핌] 이형석 기자 = 3일 오후 서울 여의도 국회 본청 계단에서 열린 더불어민주당 쌀값정상화법 공포 촉구 결의대회에서 참석자들이 피켓을 들고 구호를 외치고 있다. 2023.04.03 leehs@newspim.com plum@newspim.com 2025-07-28 12:49
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SPC "8시간 넘는 야간근무 없앤다" [서울=뉴스핌] 최원진 기자= SPC그룹이 27일 대표이사 협의체인 'SPC 커미티'를 열고 장시간 야간 근로를 폐지하고, 앞으로 생산직의 야근 시간을 8시간 이내로 제한하기로 했다고 밝혔다. SPC그룹은 야간 생산이 불가피한 일부 필수 품목을 제외하고, 가능하면 야간 가동 자체를 줄여나가겠다는 방침이다. 그룹 관계자는 "8시간 초과 야근 폐지를 위해 △인력 확충 △생산 품목 및 생산량 조정 △라인 재편 등 전반적 생산 구조를 완전히 바꿀 계획이다. 각 (계열)사별 실행 방안을 마련해 10월1일부터 전면 시행한다"고 설명했다. 이재명 대통령이 지난 25일 경기 시흥시 SPC 삼립 시흥 공장에서 열린 산업재해 근절 현장 노사간담회에서 발언을 하는 모습. [사진=대통령실]  주간 근무 시간 역시 단계적으로 단축해 장시간 노동에 따른 피로 누적과 사고 위험을 사전에 차단한다는 계획이다. 또한 이번 근무체계 전환이 현장에서 안정적으로 정착될 수 있도록 노조와 협의를 병행하고, 내부 교육 및 매뉴얼 정비 작업도 함께 추진할 예정이다. SPC는 "생산 현장의 장시간 야간 근로에 대한 지적과 우려를 무겁게 받아들여 근무 형태를 비롯한 생산 시스템 전반에 대한 개혁을 추진하기로 했다"며 "앞으로 근로자 안전이 최우선시되는 일터를 만들 수 있도록 적극 개선하고 투자하겠다"고 밝혔다. 이번 결정은 지난 25일 이재명 대통령이 SPC삼립 시화공장을 직접 찾아 현장 간담회를 주재하며 야간 노동과 과도한 업무 강도를 지적한 데 따른 것이다.  이 대통령은 지난 5월 SPC 시화공장에서 발생한 여성 노동자 사망 사고와 관련해 "수십 년이 흘렀지만 여전히 현장에서 노동자가 죽고 있다"며 "같은 방식의 사고가 반복되는 건 심각한 문제"라고 강하게 비판했다. 이어 "돈과 비용 때문에 안전과 생명을 희생하는 구조라면 반드시 바뀌어야 한다"며 "이번을 계기로 산재 사망률을 줄이기 위한 현실적이고 구체적인 대책이 마련되길 바란다"고 강조했다. 이날 간담회에는 김영훈 고용노동부 장관, 김용범 정책실장, 문진영 사회수석 등 청와대 주요 인사들이 배석했으며, SPC 측에선 허영인 회장과 김범수 SPC삼립 대표, 김지형 컴플라이언스위원장, 김희성 안전보건총괄책임자, 김인혁 노조위원장 등이 참석했다. CJ푸드빌, 크라운제과 등 타 식품업체의 현장 책임자들도 함께 자리를 했다. wonjc6@newspim.com 2025-07-27 13:22
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